Диапазон перемещений, мм:
6
12.7
Минимальный шаг, мкм:
0.2
Точность однонаправленного позиционирования, мкм:
0.5
Точность двунаправленного позиционирования, мкм:
±10
Максимальная скорость, мм/с:
0.03
0.01
Вакуум, гПа:
10-5
10-6
