| Серия/Модель |
Описание |
Основные характеристики |
Пьезоактуаторы
|
|
Р-225, Р-235
 |
Пьезоактуаторы с высокой нагрузочной способностью, обладающие субнанометровым разрешением и субмиллисекундным временем отклика. Могут быть изготовлены для эксплуатации в условиях низких и высоких температур, вакуума, существуют версии с тензодатчиком. Опционально могут иметь температурный сенсор, водонепроницаемый корпус.
|
|
Диапазон перемещения (при 1000 В)
|
до 180 мкм
|
|
Блокирующее усилие
|
до 30000 Н
|
|
Жёсткость
|
до 860 Н/мкм
|
|
Резонансная частота
|
до 14 кГц ± 20 %
|
|
Вакуум, гПа
|
до 10-6
|
|
|
P-882 – P-888 PICMA®
 |
Пакетные пьезоактуаторы, отличающиеся высокими эксплуатационными характеристиками и надежностью. Конструкция внешней керамической оболочки актуаторов позволяет значительно улучшить влагозащищенность по сравнению с изоляцией при помощи полимерных пленок. Высокая температура Кюри (320 °C) делает возможным использование актуаторов серии PICMA® в широком диапазоне температур окружающей среды от -40 °C до 150 °C. Возможно изготовление пьезоактуаторов в герметичном корпусе в случае их использования для задач позиционирования в воде или масле. Опционально пьезоактуаторы могут быть оснащены тензодатчиком.
|
|
Диапазон перемещения (при 100 В)
|
до 32 мкм ± 10 %
|
|
Блокирующее усилие
|
до 3800 Н
|
|
Жёсткость
|
до 267 Н/мкм
|
|
Резонансная частота
|
до 135 кГц ± 20 %
|
|
Вакуум, гПа
|
до 10-9
|
|
|
|
|
M-663
 |
Платформа M-663.46V является компактным линейным позиционером, сочетает в себе высокую скорость перемещения с прецизионным позиционированием. Платформа оснащена ультразвуковым пьезоэлектрическим двигателем, оптическим энкодером, оборудована бесконтактными датчиками Холла для исключения возможности выхода подвижной части платформы за рабочий диапазон перемещений. Возможна сборка в XY, XYZ комбинации.
|
|
Диапазон перемещения, мм
|
19
|
|
Минимальный шаг перемещения, мкм
|
0.3
|
|
Максимальная скорость, мм/сек
|
400
|
|
Допустимая нагрузка, Н
|
5
|
|
Вакуум, гПа
|
до 10-6
|
|
|
LPS-65
 |
Однокоординатные линейные платформы серии LPS-65 оснащены пьезодвигателем, имеют низкий профиль. Использование подшипников с перекрещивающимися роликами в системе привода позволяет достичь очень высоких показателей прямолинейности и плоскопараллельности движения.Опционально платформы серии LPS-65 могут быть оснащены оптическим энкодером, что позволяет осуществлять перемещения с точностью повторного позиционирования порядка нескольких нанометров.
|
|
Диапазон перемещения, мм
|
13/26/52
|
|
Минимальный шаг перемещения, мкм
|
0.002
|
|
Максимальная скорость, мм/сек
|
10
|
|
Максимально допустимая нагрузка, Н
|
20
|
|
Вакуум, гПа
|
до 10-9
|
|
Многокоординатные
|
|
P-363
 |
Трёхкоординатные пьезоплатформы серии P-363 представляют собой компактные системы с обратной связью для задач позиционирования в диапазоне до 6 мкм с точностью до 0.03 нм. Небольшие габаритные размеры (30 х 30 х 40 мм (XYZ версия) и 30 х 30 х 28 мм (XY версия)) позволяют легко встраивать данные устройства во многие установки.
|
|
Максимальная нагрузка, кг:
|
1
|
|
Диапазон перемещений, мкм:
|
5
|
|
Минимальный шаг, нм:
|
0.1
|
|
Точность повторного позиционирования, нм:
|
50
|
|
Вакуум, гПа:
|
10-9
|
|
|
P-733
 |
Высокоточная вакуумная платформа P-733 обеспечивает перемещение по по координатам XY 100 х 100 мкм. Платформа имеет апертура 50 х 50 мм. Высокая точность позиционирования достигается благодари использованию ёмкостных датчиков обратной связи.
|
|
Максимальная нагрузка, кг:
|
5
|
|
Диапазон перемещений, мкм:
|
100 x 100
|
|
Минимальный шаг, нм:
|
0.1
|
|
Точность повторного позиционирования, нм:
|
2
|
|
Вакуум, гПа:
|
10-9
|
|
