P-363
Трёхкоординатные пьезоплатформы серии P-363 представляют собой компактные системы с обратной связью для задач позиционирования в диапазоне до 6 мкм с точностью до 0.03 нм.
Данные пьезоплатформы представлены двумя моделями: P-363.3CD для трёхкоординатного позиционирования и P-363.2CD для перемещения в плоскости XY.
Благодаря низкой инерции при движении и высокоскоростному пьезосканеру с бесконтактными ёмкостными датчиками платформы P-363 идеально подходят для задач нанопозиционирования во многих областях науки и промышленности. Небольшие габаритные размеры (30 х 30 х 40 мм (XYZ версия) и 30 х 30 х 28 мм (XY версия)) позволяют легко встраивать данные устройства во многие установки.
В пьезоплатформе P-363 нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk),немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером.
Использование ёмкостных датчиков в системе обратной связи даёт целый ряд преимуществ:
· Бесконтактность измерения
· Высокая линейность
· Высокая воспроизводимость
· Высокая стабильность
Резонансная частота платформы достигает 9.8 кГц при движении вдоль Z координаты и более 3 кГц при движении вдоль X и Y направлений.
Для обеспечения высокой стабильности и снижения инерции корпус платформы P-363 выполнен из титана.
Для обеспечения высоких динамических характеристик управление нанопозиционером P-363 осуществляется с помощью цифрового контроллера E-725.3CM.
Для обеспечения высокого разрешения целесообразно использовать контроллер E-536 серии PicoCubetm.
По требованию заказчика существует возможность изготовления пьезоплатформы для эксплуатации в условиях вакуума.
Некоторые возможные области применения:
· Сканирующая микроскопия (АФМ, СТМ, СЭМ,…)
· Биотехнология
· Нанопозиционирование
· Нанопечать
· Нанолитография
· Нанометрология
