тел: (495) 600-40-84
P-363

P-363

Трёхкоординатные пьезоплатформы серии P-363 представляют собой компактные системы с обратной связью для задач позиционирования в диапазоне до 6 мкм с точностью до 0.03 нм.

Данные пьезоплатформы представлены двумя моделями: P-363.3CD для трёхкоординатного позиционирования и P-363.2CD для перемещения в плоскости XY.

Благодаря низкой инерции при движении и высокоскоростному пьезосканеру с бесконтактными ёмкостными датчиками платформы P-363 идеально подходят для задач нанопозиционирования во многих областях науки и промышленности. Небольшие габаритные размеры (30 х 30 х 40 мм (XYZ версия) и 30 х 30 х 28 мм (XY версия)) позволяют легко встраивать данные устройства во многие установки.

В пьезоплатформе P-363 нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk),немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером.

Использование ёмкостных датчиков в системе обратной связи даёт целый ряд преимуществ:

· Бесконтактность измерения

· Высокая линейность

· Высокая воспроизводимость

· Высокая стабильность

Резонансная частота платформы достигает 9.8 кГц при движении вдоль Z координаты и более 3 кГц при движении вдоль X и Y направлений.

Для обеспечения высокой стабильности и снижения инерции корпус платформы P-363 выполнен из титана.

Для обеспечения высоких динамических характеристик управление нанопозиционером P-363 осуществляется с помощью цифрового контроллера E-725.3CM.

Для обеспечения высокого разрешения целесообразно использовать контроллер E-536 серии PicoCubetm.

По требованию заказчика существует возможность изготовления пьезоплатформы для эксплуатации в условиях вакуума.

Некоторые возможные области применения:

· Сканирующая микроскопия (АФМ, СТМ, СЭМ,…)

· Биотехнология

· Нанопозиционирование

· Нанопечать

· Нанолитография

· Нанометрология 

Характеристика/модель

P-363.3CD

P-363.2CD

Единица измерения

Направления перемещения

X,Y,Z

X,Y

Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещения без обратной связи вдоль осей X,Y (-250 … +250 В)

± 3

± 3

мкм

Диапазон перемещения без обратной связи вдоль оси Z (-250 … +250 В)

± 2.7

-

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью вдоль осей X,Y

± 2.5

± 2.5

Диапазон перемещений с обратной связью вдоль оси Z

± 2.5

-

мкм

Разрешение без обратной связи

0.03*

0.03*

нм

Разрешение с обратной связью

0.1

0.1

нм

Нелинейность

0.05

0.05

%

Точность повторного позиционирования

1**

1**

нм

Отклонение вокруг поперечной/продольной оси (Pitch/Yaw) при движении по осям X,Y

0.5

0.5

мкрад

Отклонение вокруг осей X и Y (Runout)при движении вдоль оси Z

0.2

-

мкрад

Абсолютное значение отклонения вокруг оси Z (Straightness)

3

3

нм

Абсолютное значение отклонения вокруг оси Y (Flatness)

< 10

< 10

нм

Погрешность перемещения, связанная со взаимным влиянием параметров Straightness и Flatness (Crosstalk)

5

-

нм

Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль осей X,Y

3.1

4.2

кГц

Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль оси Z

9.8

-

кГц

Резонансная частота с нагрузкой в 20 г при движении вдоль осей X,Y

1.5

2.1

кГц

Максимальная нагрузка

10

10

Н

Тип пьезокерамики

PICAtm

PICAtm

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

0С

Материал корпуса

титан

титан

Габариты

30х30х40

30х30х28

мм

Масса

225

190

г

Длина кабеля

1.5

1.5

м

Тип разъёма для сигнального кабеля/датчика***

Sub-D

Sub-D

Рекомендуемый контроллер

Е-536

Е-536