Вакуумные пьезоплатформы P-733.2UD предназначены для работы при давлении до 10-9 гПа и обеспечивают перемещение по координатам XY, на дистанции (в режиме с обратной связью) до 100 мкм. Апертура размером 50 х 50 мм позволяет использовать платформы во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.
Модели P-733 оборудованы ёмкостными датчиками обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.
Платформы серии P-733 относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы.
Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.
Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.
В пьезоплатформах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с контроллером.
Доступны вакуумные модификации платформ. На давление до 10
‑6 гПа рассчитаны модификации: P-733.2VL, P-733.2VD. Для эксплуатации при давлении до 10
-9 гПа предназначена модель P-733.2UD.
В пьезоплатформах серии P-733 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
