тел: (495) 600-40-84
P-733

P-733

Вакуумные пьезоплатформы P-733.2UD предназначены для работы при давлении до 10-9 гПа и обеспечивают перемещение по координатам XY, на дистанции (в режиме с обратной связью) до 100 мкм. Апертура размером 50 х 50 мм позволяет использовать платформы во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.

Модели P-733 оборудованы ёмкостными датчиками обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.

Платформы серии P-733 относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы.

Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.

Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.

В пьезоплатформах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с контроллером.

Доступны вакуумные модификации платформ. На давление до 10‑6 гПа рассчитаны модификации: P-733.2VL, P-733.2VD. Для эксплуатации при давлении до 10-9 гПа предназначена модель P-733.2UD.

В пьезоплатформах серии P-733 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.


Характеристика

P-733.2CD, P-733.2CL

P-733.3CD, P-733.3CL

P-733.2DD

P-733.3DD

Ед. изм.

Направление перемещения

X, Y

X, Y, Z

X, Y

X, Y, Z


Характеристики движения и позиционирования

Встроенный сенсор

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный


Диапазон перемещений без обратной связи
(от -20 до +120 В)

115 x 115

115 x 115 x 12

33 x 33

33 x 33 x 14

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100 x 100

100 x 100 x 10

30 x 30

30 x 30 x 10

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

0.2 (0.1 in Z)

0.1

0.1

нм

Разрешение с обратной связью

0.3

0.3 (0.2 in Z)

0.1

0.1

нм

Нелинейность

0.03

0.03

0.03*

0.03*

%

Точность повторного позиционирования X/Y/Z

2 / 2 / -

2 / 2 / 1

2 / 2 / -

2 / 2 / 1

нм

Отклонение от вокруг поперечной оси (Pitch) при движении по осям X, Y

<±3

<±3

<±5

<±5

мкрад

Отклонение от вокруг вертикальной оси (Yaw) при движении по осям X, Y

<±10

<±10

<±10

<±10

мкрад

Отклонение вокруг оси X при движении по оси Z (Runout)

-

<±5

-

<±5

мкрад

Механические характеристики

Жёсткость XY/Z

1.5

1.4 / 9

20

4 / 10

Н*мкм

Резонансная частота без нагрузки XY/Z

500

460 / 1400

2230

1200 /1100

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 120 г XY/Z

370

340 / 1060

-

-

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 200 г XY/Z

340

295 / 650

1550

530 / 635

Гц

Толкающая / тянущая сила

50/20

50/20

50/20

50/20

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885


Электрическая ёмкость в направлении XY/Z

6

6 / 2.4

6.2

6.2 / 3.3

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC) в направлении XY/Z

7.5

7.5 / 30

25

25 / 41

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий


Масса

0.58

0.675

0.58

0.675

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

м

Разъём: CD-version / CL-version

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

Sub-D special

Sub-D special


*Параметр указан при использовании платформы с цифровым контроллером.