тел: (495) 600-40-84
D-015, D-050, D-100

D-015, D-050, D-100

   Компания PI выпускает двухэлектродные датчики для задач бесконтактного измерения положения объектов в области нанопозиционирования.

Датчик состоит из двух электродов, один из которых размещается на неподвижном основании, другой крепится на перемещаемый объект.

Площадь активной поверхности датчика и диэлектрическая постоянная остаются неизменными, в то время как расстояние между электродами при позиционировании объекта меняется, что оказывает влияние на ёмкость.Сигнал с датчика обрабатывается контроллером, который передаёт сигнал на ПК, пропорциональный изменению расстояния между электродами.

Ёмкостные датчики по сравнению с тензометрическими и пьезоэлектрическими датчиками имеют следующий ряд преимуществ:

· более широкий частотный диапазон

· отсутствие периодических ошибок

· бесконтактность измерения

· высокая линейность

· высокая воспроизводимость

· высокая стабильность

Разрешение двухэлектродных датчиков составляет несколько десятков пикометров. Ограничение разрешения связано со следующими факторами: электрические шумы, паразитное излучение, геометрические эффекты. На рис.1 приведены графики измерения положения актуатора с шагом 0.3 нм. Измерения были выполнены с помощью интерферометра и двухэлектродного ёмкостного датчика D-015 (график внизу). Из графиков видно, что датчик обладает лучшим разрешением

Помимо указанных моделей, компания PI производит датчики по индивидуальным требованиям.


 

Модель

D-015.00

D-050.00

D-100.00

Единица измерения

Тип датчика

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Номинальный диапазон измерения

15

50

100

мкм

Расширенный диапазон измерения

45

150

300

мкм

Разрешение*

0.0005

0.0005

0.0005

% от диапазона измерения

Линейность**

0.01

0.01

0.01

%

Площадь активной поверхности датчика

16.6

56.5

113.1

мм2

Коэффициент термического расширения

50*10-6

50*10-6

50*10-6

1/K

Диапазон рабочих температур

от -20 до 80

от -20 до 80

от -20 до 80

⁰С

Материал

алюминий

алюминий

алюминий

Рекомендуемый контроллер

E-509.CxA

E-509.CxA

E-509.CxA


* 3 кГц, с контроллером Е-509.С3А

**Данный параметр может быть достигнут при эксплуатации датчика с цифровым контроллером, с аналоговым контроллером Е-509 значение повышается до 0.05%