| Серия/Модель |
Краткая характеристика |
Диапазон перемещений, мрад |
Минимальный шаг, мкрад |
Тип датчика |
|
S-224, S-226
 |
Компактная одноосевая система углового сканирования с установленным стеклянным зеркалом |
2.2 мрад |
0.05 мкрад |
-/SGS (тензо датчик) |
|
S-334
 |
Компактная двухосевая система для углового сканирования с установленным стеклянным зеркалом |
до 60 мрад |
до 0.2 мкрад |
SGS (тензо датчик) |
|
S-325
 |
Компактная высокоскоростная прецизионная система углового и линейного сканирования |
30 мкм/ 5 мрад |
0.5 нм/ 0.05 мкрад |
-/SGS (тензо датчик) |
|
S-331
 |
Прецизионная компактная двухкоординатная система углового сканирования, высокая динамика |
3 мрад/5 мрад |
0.1 мкрад/0.25 мкрад |
тензометрический |
|
S-340
 |
Прецизионные двухосевые системы углового сканирования, без апертуры, для зеркал с диаметром до 100 мм |
2 мрад |
0.02 мкрад |
-/SGS (тензо датчик) |
|
S-330
 |
Прецизионные двухосевые системы углового сканирования, без апертуры, высокая динамика |
до 15 мрад |
до 0.02 мкрад |
-/SGS (тензо датчик) |
|
S-310 – S-316
 |
Компактная прецизионная система углового и линейного сканирования с апертурой |
до 12 мкм/ 1.2 мрад |
0.1 нм/ 0.02 мкрад |
-/SGS (тензо датчик) |
|
S-303
 |
Компактные фазовращатели с апертурой, высокая динамика и разрешение |
3 |
0.03 |
-/ ёмкостный |
