S-325
Дефлекторы серии S-325 являются устройствами параллельной кинематики, позволяющие осуществлять прецизионные перемещения с высокой скоростью в трёх направлениях: вращение относительно осей X и Y в диапазоне до 5 мрад (θX, θY), а также линейное позиционирование в направлении, перпендикулярном плоскости движущейся платформы (вдоль оси Z) в диапазоне до 30 мкм.
Конструктивно привод данной серии дефлекторов состоит из трёх пьезоактуаторов (трипод), расположенных под углом 120 градусов друг относительно друга. Все три актуатора могут двигаться независимо друг от друга (в режиме углового сканирования) или вместе (при линейном перемещении). Основное преимущество использования пьезоприводов заключается в отсутствии трения и высокой точности перемещения подвижной платформы дефлектора: доли нанометра при линейном движении и доли микрорадиан при угловом сканировании.
Преднагруженные пьезоактуаторы серии P-885, входящие в состав привода дефлекторов, имеют корпус из обожжённой керамики и обеспечивают более высокие показатели срока службы, чем обычные пьезоактуаторы. Пружина преднагрузки позволяет скомпенсировать силы растяжения пьезокерамики в условиях высокодинамичной работы, что повышает надёжность дефлекторов.
На данные дефлекторы могут устанавливаться зеркала или иная оптика с диаметром до 25 мм в любой ориентации.
Конструкция трипода обеспечивает стабильность перемещения на всём интервале рабочих температур.
Модели S-325.3SL и S-325.3SD оснащены тензометрическими (SGS) датчиками высокого разрешения, которые позволяют отслеживать положение платформы в режиме обратной связи.
Дефлекторы серии S-325 оптимизированы для высокоцикличной (до 1 млрд циклов) безотказной работы и не нуждаются в дополнительном техническом обслуживании.
Некоторые возможные области применения:
1. Линии задержки в оптических схемах
2. Юстировка лазера
3. Системы обработки изображений
4. Системы лазерного сканирования/ управления траекторией излучения
5. Оптические фильтры/переключатели
6. Сканирующая микроскопия
