тел: (495) 600-40-84
S-334

S-334

Дефлекторы серии S-334 являются компактными системами с предустановленными зеркалами, позволяющие проводить сканирование в большом диапазоне угловых перемещений с высокой скоростью. В основе разработки лежит механизм параллельной кинематики с компланарными (лежащими в одной плоскости) ортогональными осями и фиксированной точкой вращения. Особенностью данных устройств является возможность углового сканирования в диапазоне до 60 мрад (~ 3.4°) в режиме без обратной связи при миллисекундном времени отклика.

Дефлекторы серии S-334 обладают разрешением до 0.2 мкрад. Встроенный тензометрический (SGS) датчик позволяет отслеживать положение зеркала в режиме работы с обратной связью (close loop mode) и обладает высокой линейностью.

Дефлекторы серии S-334 имеют дифференциальную конструкцию привода с 2-мя парами пьезоактуаторов, обеспечивающих высокие показатели динамики и стабильности позиционирования на всём интервале рабочих температур.

Преднагруженные пьезоактуаторы серии P-885, входящие в состав привода дефлекторов, имеют корпус из обожжённой керамики и обеспечивают более высокие показатели срока службы, чем обычные пьезоактуаторы. Пружина преднагрузки позволяет скомпенсировать силы растяжения пьезокерамики в условиях высокодинамичной работы, что повышает надёжность дефлекторов.

Дефлекторы S-334 не нуждаются в дополнительном техническом обслуживании и обеспечивают стабильную работу при внешних условиях, указанных в спецификации.

Некоторые области применения:

1) Системы обработки изображений

2) Системы лазерного сканирования/ управления траекторией излучения

3) Оптические фильтры/переключатели

4) Сканирующая микроскопия

Характеристика

S-334.2SL1 / S-334.2SD1

Единица измерения

Допуск

Доступные направления перемещения

θX, θY

 

 

Встроенный сенсор

SGS (тензодатчик)

 

 

Диапазон перемещения без обратной связи (от -20 до +120 В)

60

мрад

мин. (+20 %   /-0 %)

Диапазон перемещения с обратной связью

50

мрад

 

Разрешение без обратной связи

0.5

мкрад

 

Разрешение с обратной связью

5

мкрад

 

Линейность

0.05

%

 

Точность повторного позиционирования

5

мкрад

 

Резонансная частота со стандартным зеркалом

0.7

кГц

±20%

Допустимая нагрузка

0.2

Н

макс.

Расстояние от точки вращения до наружной поверхности платформы

4

мм

±0.1 мм

Характеристики установленного зеркала

диаметр: 10 мм, толщина: 2 мм, точность поверхности: λ/10,

 

 

Тип пьезокерамики

PICMA® P-885

 

 

Электрическая емкость/ось

3

мкФ

±20%

Диапазон рабочих температур

0 до +50

°C

 

Материал корпуса дефлектора

Титан

 

 

Масса

0.065

кг

±5 %

Длина кабеля

2

м

±10 мм

Тип разъема датчика / питания

LEMO/ Sub-D (25-pin)

 

 


Рекомендуемый контроллер для работы в режиме обратной связи с типом разъёма датчика/питания Sub-D – E-616

Рекомендуемый контроллер для работы в режиме без обратной связи с типом разъёма датчика/питания LEMO – трёхканальный усилитель E-663 либо система E-500 с усилителем E-503.00S (три канала) или одноканальным/двухканальным усилителем E-505.00S (для работы в условиях высокой динамики) В режиме с обратной связью в систему встраивается сервоконтроллер E-509.