| Серия/Модель |
Краткая характеристика |
Диапазон перемещения, мкм |
Допустимая нагрузка, кг |
Минимальный шаг, нм |
Тип датчика |
Линейные
|
|
Р-630
 |
Пьезоплатформа с апертурой, высокое разрешение |
40/80 |
1 |
0.2 |
ёмкостный |
|
Р-752
 |
Высокоточный линейный нанопозиционер/сканер |
20/ 35 |
3 |
0.1/ 0.2 |
ёмкостный |
|
Р-712
 |
Компактный низкопрофильный однокоординатный пьезосканер с апертурой |
40 |
0.5 |
0.2 |
-/ тензо метрический |
|
P-753
 |
Компактный высокоскоростной нанопозиционер |
12/25/38 |
10 |
0.1/0.2/0.25 |
ёмкостный |
|
P-620.1 - P-629.1 PIHera
 |
Линейные пьезоплатформы, широкий выбор диапазона перемещений.
|
от 50 до 1500 |
1 |
от 0.2 до 3 |
ёмкостный / без датчика |
|
P-611.1
 |
Компактная пьезоплатформа, X - перемещение |
100 |
1.5 |
2 |
SGS / без датчика |
Z-перемещение
|
|
P-611.Z
 |
Компактная пьезоплатформа, Z-перемещение |
100 |
1.5 |
2 |
тензометрический |
|
P-612.Z
 |
Z-пьезоплатформа с апертурой 20х20 мм, модификации с тензодатчиком, короткое время отклика |
100 |
1.5 |
1.5 |
тензометрический |
|
P-620.Z - P-622.Z
 |
Z-пьезоплатформы с ёмкостным датчиком, возможность конструирования XY и XYZ систем |
50/100/250 |
1 |
0.2/0.3/1 |
ёмкостный |
|
P-733.Z
 |
Высокодинамичная Z-пьезоплатформа с апертурой 50х50 мм, высокое разрешение |
100 |
5 |
0.3 |
ёмкостный |
