В серии P-611.1 представлены однокоординатные линейные пьезоплатформы, предназначенные для перемещения нагрузки массой до 1.5 кг на дистанцию до 120 мкм. Пьезоплатформы сочетают в себе компактные габариты (44 х 44 х 17 мм), миллисекундное время отклика и высокую точность позиционирования.
Модели серии Р-611.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности.
В серии Р-611.1 представлены две модели: Р‑611.1S и Р-611.10. Платформа Р‑611.1S оснащена тензометрическим (SGS) датчиком обратной связи, позволяющим добиться высокой точности повторного позиционирования.
Модель P-611.10 не оснащается датчиком обратной связи и хорошо подходит для задач, требующих малого времени отклика, высокого разрешения, но не требующих точного знания положения платформы.
Пьезоплатформы без обратной связи также часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др.
При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения.
В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
Помимо однокоординатных моделей P-611.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P‑611.Zx для вертикального (Z) перемещения, двухкоординатные P-611.2, P-611.XZ (XY, XZ) и трёхкоординатные P-611.3 (XYZ) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с тензометрическим сенсором, так и без датчика обратной связи.
Некоторые возможные сферы применения
