тел: (495) 600-40-84
P-611.1

P-611.1

В серии P-611.1 представлены однокоординатные линейные пьезоплатформы, предназначенные для перемещения нагрузки массой до 1.5 кг на дистанцию до 120 мкм. Пьезоплатформы сочетают в себе компактные габариты (44 х 44 х 17 мм), миллисекундное время отклика и высокую точность позиционирования.

Модели серии Р-611.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности.

В серии Р-611.1 представлены две модели: Р‑611.1S и Р-611.10. Платформа Р‑611.1S оснащена тензометрическим (SGS) датчиком обратной связи, позволяющим добиться высокой точности повторного позиционирования.

Модель P-611.10 не оснащается датчиком обратной связи и хорошо подходит для задач, требующих малого времени отклика, высокого разрешения, но не требующих точного знания положения платформы.

Пьезоплатформы без обратной связи также часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др.

При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения.

В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.

Помимо однокоординатных моделей P-611.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P‑611.Zx для вертикального (Z) перемещения, двухкоординатные P-611.2, P-611.XZ (XY, XZ) и трёхкоординатные P-611.3 (XYZ) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с тензометрическим сенсором, так и без датчика обратной связи.

Некоторые возможные сферы применения

Характеристика

P-611.1S

P-611.10

Ед. изм.

Направление перемещения

X

X


Характеристики движения и позиционирования

Встроенный сенсор

тензометрический



Диапазон перемещений без обратной связи
(от -20 до +120 В)

120

120

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100

-

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

0.2

нм

Разрешение с обратной связью

2

-

нм

Нелинейность

0.1

-

%

Точность повторного позиционирования

< 10

-

нм

Отклонение от вокруг поперечной оси Y (Pitch)

±5

±5

мкрад

Отклонение от вокруг вертикальной оси Z (Yaw)

±20

±20

мкрад

Плоскопараллельность в плоскости X, Y

±15

±25

нм

Плоскопараллельность

10

10

нм

Механические характеристики

Жёсткость в направлении перемещения

0.2

0.2

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки

400

400

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 30 г

300

300

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 100 г

195

195

Гц

Толкающая / тянущая сила

15 / 10

15 / 10

Н

Максимальная нагрузка

15

15

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885


Электрическая ёмкость

1.5

1.5

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC)

1.9

1.9

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь


Масса

0.135

0.135

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

м

Тип разъёма напряжение / датчик

LEMO / LEMO

LEMO / -