Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 представлены несколькими моделями, обеспечивающими линейное перемещение на максимальную дистанцию от 60 до 1800 мкм.
Модели серии P‑620.1 - P-629.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности.
Одним из преимуществ платформ серии P‑620.1 - P-629.1 является малое время отклика. Например, модель P-622.1CD позволяет переместиться на 10 нм за 30 мс.
Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.
Пьезоплатформы без обратной связи часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др.
При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения.
В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
Доступны пьезоплатформы в вакуумном (до 10-9 гПа) исполнении, каталожный номер: P‑62x.1UD
Помимо однокоординатных моделей P‑620.1 - P-629.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P-620.Z - P-622.Z для вертикального перемещения и двухкоординатные P-620.2 – P‑629.2 (XY) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи.
Некоторые возможные сферы применения
