тел: (495) 600-40-84
P-620.1 - P-629.1 PIHera

P-620.1 - P-629.1 PIHera

Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 представлены несколькими моделями, обеспечивающими линейное перемещение на максимальную дистанцию от 60 до 1800 мкм.

Модели серии P‑620.1 - P-629.1 идеально подходят для задач корректировки длины оптического пути в интерферометрии. Широкое применение данные позиционеры нашли также в микроскопии, полупроводниковой промышленности.

Одним из преимуществ платформ серии P‑620.1 - P-629.1 является малое время отклика. Например, модель P-622.1CD позволяет переместиться на 10 нм за 30 мс.

Пьезоплатформы серии P-620.1 - P-629.1 изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.

Пьезоплатформы без обратной связи часто используются совместно с внешними приборами, такими как интерферометр, устройства со светочувствительными матрицами и др.

При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного движения и достичь высоких показателей жёсткости в направлении перемещения.

В пьезоплатформах серии P-611 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.

Доступны пьезоплатформы в вакуумном (до 10-9 гПа) исполнении, каталожный номер: P‑62x.1UD

Помимо однокоординатных моделей P‑620.1 - P-629.1, предназначенных для горизонтального перемещения, компания PI выпускает платформы P-620.Z - P-622.Z для вертикального перемещения и двухкоординатные P-620.2 – P‑629.2 (XY) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с ёмкостным сенсором, так и без датчика обратной связи.

Некоторые возможные сферы применения


Характеристика

P-620.1CD/
P-620.1CL

P-621.1CD/
P-621.1CL

P-622.1CD/
P-622.1CL

P-625.1CD/
P-625.1CL

P-628.1CD/
P-628.1CL

P-629.1CD/
P-629.1CL

P-62x.10L (без датчика)

Ед. изм.

Направление перемещения

X

X

X

X

X

X

X


Характеристики движения и позиционирования

Встроенный сенсор

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

-


Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В)

60

120

300

600

950

1800

равный
P-62x.1CD

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

50

100

250

500

800

1500

-

мкм

Разрешение без обратной связи / c обратной связью

0.2 / 0.1

0.4 / 0.2

0.7 / 0.4

1.4 / 0.5

1.8 / 0.5

3 / 2

равный
P-62x.1CD

нм

Нелинейность

0.02

0.02

0.02

0.02

0.03*

0.03**

-

%

Точность повторного позиционирования

±1

±1

±1

±5

±10

±14

-

нм

Отклонение вокруг осей Y / Z

±3

±3

±3

±6

±6

±10

равный
P-62x.1CD

мкрад

Механические характеристики






Жесткость

0.42

0.35

0.2

0.1

0.12

0.13

равный
P-62x.1CD

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки

1100

800

400

215

125

125

равный
P-62x.1CD

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 20 г

550

520

340

180

115

120

равный
P-62x.1CD

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 120 г

260

240

185

110

90

110

равный
P-62x.1CD

Гц

Толкающая/тянущая сила

10

10

10

10

10

10

равный
P-62x.1CD

Н

Максимальная нагрузка

10

10

10

10

10

10

равный
P-62x.1CD

Н

Максимальное боковое усилие

10

10

10

10

10

8

равный
P-62x.1CD

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-883

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-887

PICMA®
P-888

равный
P-62x.1CD


Электрическая ёмкость

0.35

1.5

3.1

6.2

19

52

равный
P-62x.1CD

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока

0.9

1.9

1.9

1.6

3

4.3

равный
P-62x.1CD

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +150

° С

Материал

Алюминий


Масса

0.11

0.16

0.2

0.24

0.38

0.72

равный
P-62x.1CD

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

м

Разъём: CD-version / CL-version

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

Sub-D special / LEMO

LEMO
(без датчика)