тел: (495) 600-40-84
P-721

P-721

P-721 PIFOC® пьезо нанопозиционер, высокоскоростное устройство для нанофокусировки/сканирования. Позволяет проводить позиционирование и сканирование в диапазоне 100 мкм с субнанометровым разрешением и высокой линейностью.

Конструктивно P-721 PIFOC ® состоит из неподвижной части и линейно перемещающейся по одной координате (вверх-вниз) подвижной части. Перемещение происходит посредством встроенного пьезопривода с емкостным датчиком обратной связи.

Использование емкостных датчиков является приоритетным для компании Physik Instrumente при создании нанопозиционеров. Отсутствие физического контакта, и, как следствие, трения, в сочетании с менее, чем нанометровым разрешением, позволяет получить систему с очень высокой линейностью. Так же возможна установка тензодатчиков, что уменьшает стоимость системы.

Пьезо нанопозиционер P-721 PIFOC ® может, как переместить расположенный на нем объектив на определенное расстояние (позиционирование), так и осуществлять непрерывное перемещение объектива по определенному алгоритму (т.е. осуществлять сканирование).

Для применений, где необходим быстрый отклик при сохранении высокого разрешения существуют системы открытого типа (без обратной связи)

В системе PIFOC® используются пьезоактуаторы PICMA® Установленные в защитный корпус, эти актуаторы имеют более высокие эксплуатационные характеристики и надежность, по сравнению со стандартными моделями.

Для задач, где требуются более значительные перемещения, компания PI предлагает систему нанофокусировки P-725 PIFOC ® У этого сканера диапазон перемещений может достигать, в зависимости от модели и схемы включения, до 400 мкм, при разрешении 0.5/1.25 нм в открытой и замкнутой схемах соответственно.

Характеристика

Модель

Единица измерения

Погрешность

P-721.CLQ

P-721.CDQ

P-721.SL2

P-721.0LQ

Доступные направления перемещений

Z

Z

Z

Z

Характеристики движения и позиционирования

Тип встроенного датчика

Емкостной

Емкостной

SGS

-

Диапазон перемещений при включении без обратной связи -20 до +120 В

140

140

140

140

мкм

мин (20% / 0%)

Диапазон перемещения при включении с обратной связью

100

100

100

-

мкм

калибруется

Разрешение при включении без обратной связи

0.5

0.5

0.5

0.5

нм

Разрешение при включении с обратной связью

0.7

0.7

5

-

нм

Линейность (при включении с обратной связью)

0.03

0.03

0.2

-

%

Точность повторного позиционирования

±5

±5

±10

-

нм

Биение qx, qy

13

13

13

13

мкрад

Перекрестная наводка Х, Y (crosstalk)

100

100

100

100

нм

Механические характеристики

Жесткость в направлении перемещения

0.3

0.3

0.3

0.3

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки

580

580

580

550

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 120 г

235

235

235

235

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г

180

180

180

180

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения

100 / 20

100 / 20

100 / 20

100 / 20

Н

Характеристики привода

Тип керамики

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая емкость

3.1

3.1

3.1

3.1

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока

3.9

3.9

3.9

3.9

мкА / (Гц*мкм)

±20%

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

-20 до +80

-20 до +80

-20 до +80

-20 до +80

°С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Масса

0.24

0.24

0.22

0.22

кг

±5%

Максимальный диаметр объектива

39

39

39

39

мм

Длина кабеля

1

1

1

1

м

±10 мм

Подключение датчика / питания

LEMO

Sub-D special

LEMO / Sub-D special

LEMO (нет датчика)