P-721
P-721 PIFOC® пьезо нанопозиционер, высокоскоростное устройство для нанофокусировки/сканирования. Позволяет проводить позиционирование и сканирование в диапазоне 100 мкм с субнанометровым разрешением и высокой линейностью.
Конструктивно P-721 PIFOC ® состоит из неподвижной части и линейно перемещающейся по одной координате (вверх-вниз) подвижной части. Перемещение происходит посредством встроенного пьезопривода с емкостным датчиком обратной связи.
Использование емкостных датчиков является приоритетным для компании Physik Instrumente при создании нанопозиционеров. Отсутствие физического контакта, и, как следствие, трения, в сочетании с менее, чем нанометровым разрешением, позволяет получить систему с очень высокой линейностью. Так же возможна установка тензодатчиков, что уменьшает стоимость системы.
Пьезо нанопозиционер P-721 PIFOC ® может, как переместить расположенный на нем объектив на определенное расстояние (позиционирование), так и осуществлять непрерывное перемещение объектива по определенному алгоритму (т.е. осуществлять сканирование).
Для применений, где необходим быстрый отклик при сохранении высокого разрешения существуют системы открытого типа (без обратной связи)
В системе PIFOC® используются пьезоактуаторы PICMA® Установленные в защитный корпус, эти актуаторы имеют более высокие эксплуатационные характеристики и надежность, по сравнению со стандартными моделями.
Для задач, где требуются более значительные перемещения, компания PI предлагает систему нанофокусировки P-725 PIFOC ® У этого сканера диапазон перемещений может достигать, в зависимости от модели и схемы включения, до 400 мкм, при разрешении 0.5/1.25 нм в открытой и замкнутой схемах соответственно.