тел: (495) 600-40-84
P-753

P-753

    Актуатор/платформа Р-753 является компактным высокоскоростным нанопозиционером, который может работать в качестве актуатора или платформы.

Устройство оборудовано пьезоприводом, ёмкостными датчиками положения, которые позволяют измерять позицию платформы бесконтактно. Использование обратной связи повышает линейность и точность повторного позиционирования, пользователь может определить текущую координату устройства. Информация о текущем местонахождении устройства поступает в контроллер, который подаёт корректирующий (управляющий) сигнал обратно на усилитель.

Разрешение при позиционировании с обратной связью составляет менее 1 нм, частотный диапазон работы актуатора/платформы может составлять до 10 кГц.

«CD» версии P-753 (с Sub-D разъёмом) оборудованы ID чипом, который хранит данные о каждой конкретной модели и параметры сервопривода. Эти данные автоматически считываются цифровыми пьезоконтроллерами PI с помощью функции автокаллибровки. Таким образом, платформы с ID чипом и контроллеры могут использоваться в различных комбинациях.

Актуатор/платформа P-753 оснащена преднагруженными пьезоактуаторами серии PICMA, которые образуют систему привода. Использование преднагрузки позволяет в некоторой степени скомпенсировать силы растяжения пьезокерамики, что повышает срок службы устройства при работе в условиях высокодинамичных перемещений.

Некоторые возможные области применения

· Метрология

· Нанопозиционирование

· Сканирующая микроскопия

· Фотоника, оптика

· Интерферометрия

· Микроманипулирование

Доступны вакуумные и немагнитные вакуумные (до 10-9 гПа) версии актуаторов/платформ серии

P-753. Каталожные номера моделей - P-753.xUD и P‑753.xND соответственно. 

Модель

P-753.11C

P-753.21C

P-753.31C

Единица измерения

Допуск

Направления перемещения

Х

Х

Х

Тип встроенного сенсора

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещения с обратной связью

12

25

38

мкм

Разрешение с обратной связью/без обратной связи

0.05

0.1

0.2

нм

Линейность (с обратной связью)

0.03

0.03

0.03

%

Точность повторного позиционирования

±1

±2

±3

нм

Отклонение вокруг горизонтальной оси Y (Pitch) вертикальной оси Z (Yaw)

±5

±7

±10

мкрад

Жёсткость в направлении перемещения

45

24

16

Н/мкм

±20 %

Резонансная частота без нагрузки

5.6

3.7

2.9

кГц

±20 %

Резонансная частота с нагрузкой 200 г

2.5

1.7

1.4

кГц

±20 %

Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения

100/20

100/20

100/20

Н

макс.

Допустимая нагрузка (при вертикальном/горизонтальном креплении)

10/2

10/2

10/2

кг

макс.

Тип керамики

PICMA

P-885

PICMA

P-885

PICMA

P-885

Электрическая ёмкость

1.5

3.1

4.6

мкФ

±20 %

Динамический коэффициент рабочего тока

12

15

15

мкА/(Гц*мкм)

Диапазон рабочих температур

от -20 до 80

от -20 до 80

от -20 до 80

0С

Материал корпуса

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Габариты

44 х 30 х 15

44 х 30 х 62

44 х 30 х 80

мм

Масса

0.15

0.205

0.25

кг

±5 %

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для сенсора/ сигнального кабеля

LEMO

LEMO

LEMO


Модель

P-753.1CD

P-753.2CD

P-753.3CD

Единица измерения

Допуск

Направления перемещения

Х

Х

Х

Тип встроенного сенсора

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещения с обратной связью

12

25

38

мкм

Разрешение с обратной связью/без обратной связи

0.05

0.1

0.2

нм

Линейность (с обратной связью)

0.03

0.03

0.03

%

Точность повторного позиционирования

±1

±2

±3

нм

Отклонение вокруг горизонтальной оси Y (Pitch) вертикальной оси Z (Yaw)

±5

±7

±10

мкрад

Жёсткость в направлении перемещения

45

24

16

Н/мкм

±20 %

Резонансная частота без нагрузки

5.6

3.7

2.9

кГц

±20 %

Резонансная частота с нагрузкой 200 г

2.5

1.7

1.4

кГц

±20 %

Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения

100/20

100/20

100/20

Н

макс.

Допустимая нагрузка (при вертикальном/горизонтальном креплении)

10/2

10/2

10/2

кг

макс.

Тип керамики

PICMA

P-885

PICMA

P-885

PICMA

P-885

Электрическая ёмкость

1.5

3.1

4.6

мкФ

±20 %

Динамический коэффициент рабочего тока

12

15

15

мкА/(Гц*мкм)

Диапазон рабочих температур

от -20 до 80

от -20 до 80

от -20 до 80

0С

Материал корпуса

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Нержавеющая сталь

Габариты

44 х 30 х 15

44 х 30 х 62

44 х 30 х 80

мм

Масса

0.16

0.215

0.26

кг

±5 %

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для сенсора/ сигнального кабеля

Sub-D

Sub-D

Sub-D


Рекомендуемый контроллер/усилитель:

Для моделей с LEMO разъёмом: модуль E-500 с усилителем Е-505 и сервоконтроллером Е-509

Для моделей с Sub-D разъёмом: OEM модуль Е-610; настольный контроллер Е-625; мощный настольный контроллер с дисплеем Е-665; цифровой контроллер Е-753