тел: (495) 600-40-84
P-517 • P-527

P-517 • P-527

Пьезоплатформы серии P-517 · P-527 представлены несколькими моделями, обеспечивающими перемещение по координатам XY, XYZ, XYθZ. Апертура размером 66 х 66 мм позволяет использовать платформы во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.

Все модели серии P-517 · P-527 оборудованы ёмкостными датчиками обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.

Платформы серии P-517 · P-527 относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы.

Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.

Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.

При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов. Тщательный расчет позволил сконструировать платформу с высокими значениями жёсткости вдоль направлений перемещения. Благодаря использованию метода конечных элементов удалось минимизировать осевое биение и отклонение от прямолинейного перемещения. В пьезоплатформах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (cross talk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с контроллером.

В пьезоплатформах серии P-517 · P-527 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.


Характеристика

P-517.2CL

P-527.2CL

P-517.3CL/

P-517.3CD

P-527.3CL/

P-527.3CD

P-517.RCD

P-527.RCD

Ед. изм.

Направление перемещения

X, Y

X, Y

X, Y, Z

X, Y, Z

X, Y, θZ

X, Y, θZ


Характеристики движения и позиционирования


Встроенный сенсор

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный


Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В)

130

250

130; Z: 25

250; Z: 25

130;
θZ: ±1.3 мкрад

250;
θZ: ±2.5 мкрад

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100

200

100; Z: 20

200; Z: 20

100;
θZ: ±1 мкрад

200;
θZ: ±2 мкрад

мкм

Разрешение без обратной связи

0.3

0.5

0.3; Z: 0.1

0.5; Z: 0.1

0.3;
θZ: ±0.1 мкрад

0.5;

θZ: ±0.1 мкрад

нм

Разрешение с обратной связью

1

2

1; Z: 0.1

2; Z: 0.1

1;
θZ: ±0.3 мкрад

2;
θZ: ±0.3 мкрад

нм

Нелинейность

0.03

0.03

0.03

0.03

0.03

0.03

%

Точность повторного позиционирования

±5

±10

±5; Z: ±1

±10; Z: ±1

±5;

θZ: ±0.5 мкрад

±10;
θZ: ±1 мкрад

нм

Механические характеристики







Жесткость

2

1

2; Z: 15

1; Z: 15

2

1

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки

450

350

450; Z: 1100

350; Z: 1100

450; θZ: 400

350; θZ: 300

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 500 г X, Y

250

190

250

190

250

190

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 2500 г X, Y

140

110

140

110

140

110

Гц

Толкающая/тянущая сила

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

50 / 30

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885


Электрическая ёмкость

9.2

9.2

9; Z: 6

9; Z: 6

9

9

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (на ось)

11.5

5.8

11.5; Z: 37

5.5; Z: 37

11.5

5.5

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Анодированный алюминий


Масса

1.4

1.4

1.45

1.45

1.4

1.4

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

м