P-517 • P-527
Пьезоплатформы серии P-517 · P-527 представлены несколькими моделями, обеспечивающими перемещение по координатам XY, XYZ, XYθZ. Апертура размером 66 х 66 мм позволяет использовать платформы во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.
Все модели серии P-517 · P-527 оборудованы ёмкостными датчиками обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.
Платформы серии P-517 · P-527 относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы.
Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.
Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.
При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов. Тщательный расчет позволил сконструировать платформу с высокими значениями жёсткости вдоль направлений перемещения. Благодаря использованию метода конечных элементов удалось минимизировать осевое биение и отклонение от прямолинейного перемещения. В пьезоплатформах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (cross talk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с контроллером.
В пьезоплатформах серии P-517 · P-527 используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.
