P-541.2–P-542.2
Платформы для нанопозиционирования P-541.2–P-542.2 специально разработаны для интеграции в системы микроскопии высокого разрешения. Отличительными особенностями данных платформ являются: низкий профиль (16.5 мм), большая апертура (80х80 мм) и высокая точность позиционирования с субнанометровым разрешением. Также существует исполнение платформы P-541 для позиционирования по оси Z с вращением вокруг Qx; Qy, которая позволяет в комбинации с X,Y позиционерами (например, M-686) создавать универсальные системы для микроскопии высокого разрешения и целого ряда метрологических задач. Высокая резонансная частота в 1.5 кГц позволяет работать с большой скоростью перемещения, что необходимо, например, при исследовании процессов критичных ко времени измерения.
В системах многоосевой параллельной кинематики все актуаторы воздействуют на одну подвижную платформу. Это подразумевает, что динамические характеристики всех подвижных осей должны быть схожими. Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.
В системах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (cross talk), немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером.
Встроенный датчик контроля положения обеспечивает быстрый отклик и поддержание стабильности позиционирования в нанометровом диапазоне. В наиболее прецизионных моделях данной серии используются емкостные датчики. Они позволяют измерять перемещения без физического контакта, что обеспечивает высокую линейность. Контроль положения может определяться также и с помощью использования тензодатчиков.
