тел: (495) 600-40-84
P-541.2–P-542.2

P-541.2–P-542.2

Платформы для нанопозиционирования P-541.2–P-542.2 специально разработаны для интеграции в системы микроскопии высокого разрешения. Отличительными особенностями данных платформ являются: низкий профиль (16.5 мм), большая апертура (80х80 мм) и высокая точность позиционирования с субнанометровым разрешением. Также существует исполнение платформы P-541 для позиционирования по оси Z с вращением вокруг Qx; Qy, которая позволяет в комбинации с X,Y позиционерами (например, M-686) создавать универсальные системы для микроскопии высокого разрешения и целого ряда метрологических задач. Высокая резонансная частота в 1.5 кГц позволяет работать с большой скоростью перемещения, что необходимо, например, при исследовании процессов критичных ко времени измерения.

В системах многоосевой параллельной кинематики все актуаторы воздействуют на одну подвижную платформу. Это подразумевает, что динамические характеристики всех подвижных осей должны быть схожими. Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.

В системах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (cross talk), немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером.

Встроенный датчик контроля положения обеспечивает быстрый отклик и поддержание стабильности позиционирования в нанометровом диапазоне. В наиболее прецизионных моделях данной серии используются емкостные датчики. Они позволяют измерять перемещения без физического контакта, что обеспечивает высокую линейность.  Контроль положения может определяться также и с помощью использования тензодатчиков. 

Характеристика

Модель

Ед. изм.

Погрешнос ть

P-541.2CD

P-542.2CD

P-542.2CL

P-541.2DD

P-541.2SL

P-542.2SL

P-541.20L

P-542.20L

Доступные направления перемещений

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

Характеристики движения и позиционирования

Тип встроенного сенсора

Емкостной

Емкостной

Емкостной

SGS

SGS

-

-

Диапазон перемещений без обратной связи, -20 до +120 В

175 x 175

290 x 290

60 x 60

175 x 175

290 x 290

175 x 175

290 x 290

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100 x 100

200 x 200

45 x 45

100 x 100

200 x 200

-

-

мкм

Разрешение без обратной связи / с обратной связью

0.2 / 0.3

0.4 / 0.7

0.1 / 0.3

0.2 / 2.5

0.4 / 4

0.2 / -

0.2 / -

нм

Нелинейность

0.03

0.03

0.03*

0.2

0.2

-

-

%

Точность повторного позиционирования

< 5

< 5

< 5

< 10

< 10

-

-

нм

Вращения вокруг оси X (Pitch)

< ±5

< ±5

< ±3

< ±5

< ±5

< ±5

< ±5

мкрад

Вращения вокруг оси Y (Yaw)

< ±10

< ±10

< ±3

< ±10

< ±10

< ±10

< ±10

мкрад

Механические характеристики

Жесткость в направлении перемещения

0.47

0.4

10

0.47

0.4

0.47

0.4

Н/мкм

± 20 %

Резонансная частота без нагрузки

255

230

1550

255

230

255

230

Гц

± 20 %

Резонансная частота с нагрузкой 100г

200

190

-

200

190

200

190

Гц

± 20 %

Резонансная частота с нагрузкой 200г

180

-

1230

180

-

180

-

Гц

± 20 %

Резонансная частота с нагрузкой 300г

150

145

-

150

145

150

145

Гц

± 20 %

Толкающее / тянущее усилие в направлении перемещения

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

100 / 30

Н

Допустимая нагрузка

20

20

20

20

20

20

20

Н

Характеристики двигателя

Тип используемой керамики

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая емкость (на ось)

4.2

7.5

9

4.2

7.5

4.2

7.5

мкФ

± 20 %

Динамический коэффициент рабочего тока (на ось)

5.2

4.8

25

5.2

4.8

5.2

4.8

мкА/(Гц*мкм)

± 20 %

Прочие характеристики

Диапазон рабочих температур

20 до 80

20 до 80

20 до 80

-20 до 80

-20 до 80

-20 до 80

-20 до 80

°С

Материал

Алюм.

Алюм.

Алюм.

Алюм.

Алюм.

Алюм.

Алюм.

Масса

1100

1150

1210

1050

1100

1050

1100

г

± 5 %

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

м

± 10 мм

Тип разъема датчика

Sub-D Special

Sub-D Special

Sub-D Special

LEMO

LEMO

-

-

Тип разъема питания

Sub-D Special

Sub-D Special

Sub-D Special

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO