тел: (495) 600-40-84
P-561 • P-562 • P-563 PIMars

P-561 • P-562 • P-563 PIMars

Пьезоплатформы серии P-561 · P-562 · P-563 PIMars представлены несколькими моделями, обеспечивающими перемещение по координатам XYZ на дистанции (в режиме с обратной связью) до 300 мм вдоль каждой оси. Апертура размером 66 х 66 мм позволяет использовать платформы во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.

Все модели серии P-561 · P-562 · P-563 PIMars оборудованы ёмкостными датчиками обратной связи. Измерение перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.

Платформы серии P-561 · P-562 · P-563 PIMars относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы.

Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.

Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки. При проектировании платформ широко использовалось компьютерное моделирование с применением метода конечных элементов, благодаря этому удалось минимизировать отклонение от прямолинейного перемещения. В пьезоплатформах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с контроллером.

Платформы с каталожными номерами P‑561.3CD, P-562.3CD и P-563.3CD имеют вакуумные модификации. На давление до 10‑6 гПа рассчитаны модификации: P-561.3VD, P‑562.3VD и P-563.3VD.

На давление до 10-9 гПа рассчитаны модификации: P-561.3UD, P-562.3UD и P-563.3UD.

В пьезоплатформах серии P-561 · P-562 · P-563 PIMars используются пьезоактуаторы PICMA®, характеризующиеся низким током утечки и большим сроком службы.

Характеристика

P-561.3CD

P-562.3CD

P-563.3CD

P-561.3DD

Ед. изм.

Направление перемещения

X, Y, Z

X, Y, Z

X, Y, Z

X, Y, Z


Характеристики движения и позиционирования

Встроенный сенсор

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный


Диапазон перемещений без обратной связи
(от -20 до +120 В)

150 x 150 x 150

300 x 300 x 300

340 x 340 x 340

58 x 58 x 18

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100 x 100 x 100

200 x 200 x 200

300 x 300 x 300

45 x 45 x 15

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

0.4

0.5

0.1

нм

Разрешение с обратной связью

0.8

1

2

0.2

нм

Нелинейность

0.03

0.03

0.03

0.01*

%

Точность повторного позиционирования X, Y, Z

2 / 2 / 2

2 / 2 / 4

2 / 2 / 4

2 / 2 / 2

нм

Отклонение от вокруг поперечной оси (Pitch) при движении по осям X, Y

±1

±2

±2

±3

мкрад

Отклонение вокруг осей X, Y при движении по оси Z (Runout)

±15

±20

±25

±3

мкрад

Отклонение от вокруг вертикальной оси (Yaw) при движении по осям X, Y

±6

±10

±10

±3

мкрад

Плоскопараллельность в плоскости X, Y

±15

±20

±25

±10

нм

Перекрестное влияние вдоль осей X, Y (Crosstalk) при движении по оси Z

±30

±50

±50

±20

нм

Механические характеристики

Резонансная частота без нагрузки X/Y/Z

190 / 190 / 380

160 / 160 / 315

140 / 140 / 250

920 / 920 / 1050

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 100 г X/Y/Z

-

145 / 145 / 275

120 / 120 / 215

860 / 860 / 950

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 330 г X/Y/Z

140 / 140 / 300

130 / 130 / 195

110 / 110 / 170

500 / 500 / 470

Гц

Толкающая сила в направлении X/Y/Z

200 / 200 / 50

120 / 120 / 50

100 / 100 / 50

200 / 200 / 50

Н

Тянущая сила в направлении X/Y/Z

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

30 / 30 / 30

Н

Максимальная нагрузка

50

50

50

50

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885


Электрическая ёмкость в направлении X/Y/Z

5.2 / 5.2 / 10.4

7.4 / 7.4 / 14.8

7.4 / 7.4 / 14.8

38 / 38 / 6

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC) в направлении X/Y/Z

6.5 / 6.5 / 13

4.6 / 4.6 / 9.25

3.1 / 3.1 / 6.1

106 / 106 / 50

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий


Масса

1.45

1.45

1.45

1.55

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

м

Рекомендуемый контроллер

E-725, E-712

E-725, E-712

E-725, E-712

E-725, E-712


*Параметр указан при использовании платформы с цифровым контроллером.