тел: (495) 600-40-84
P-611

P-611

P-611 NanoCube® представляет собой универсальную, многокоординатную пьезосистему для нанопозиционирования. В компактном корпусе реализована система, позволяющая осуществлять перемещения в диапазоне 100 x 100 x 100 мкм. Оборудованный жесткой, с минимальным трением системой направляющих, NanoCube® позволяет осуществлять перемещение со сверхвысоким разрешением и временем установки координаты в несколько миллисекунд. Минимизация подвижной массы и жесткий пьезопривод делают его идеальным решением для задач, где требуется высокая производительность. Например, при юстировке оптоволокна, где это позволяет существенно повысить динамические характеристики оборудования, по сравнению с обычными моторизированными приводами.

Модификации с/без обратной связи

Тензодатчик в совокупности с высоким разрешением и малым временем отклика, позволяют с высокой точностью определить положение платформы и передать сигнал обратной связи на контроллер. Датчик подключен по мостовой схеме, что исключает температурный дрейф, и обеспечивает превосходную стабильность позиционирования в нанометровом диапазоне. 
Модели без обратной связи прекрасно подходят для решения задач, где требуются быстрый отклик и высокая точность позиционирования, но абсолютное значение координаты не столь важно. Также эти модели могут использоваться в задачах, где контроль положения осуществляется внешними устройствами, например интерферометром, PSD (position sensitive diode), CCD, другими системами или с помощью оператора.


Комбинирование с другими платформами

Серия пьезоплатформ P-611 представлена большим количеством одно и много осевых моделей (X, XY, Z, XZ и XYZ), что позволяет легко комбинировать их между собой и с другими платформами для микроперемещений. Например, эта возможность используется при создании систем грубой/точной юстировки с большим диапазоном перемещений.


Высокая надежность

Система P-611 оборудована преднагруженными, высокоэффективными пьезоактуаторами серии PICMA® которые объединены с системой направляющих. Актуаторы PICMA® находятся в закрытом керамическом корпусе, что повышает их надежность и эксплуатационные характеристики по сравнению с обычными пьезоактуаторами. Актуаторы, направляющие и датчики не нуждаются в обслуживании и не подвержены износу, обеспечивая высокую надежность оборудования. 

Модель

P-611.3S; P-611.3SF

P-611.3O; P-611.3OF

Единица измерения

Направления перемещения

X, Y, Z

X, Y, Z

Движение и позиционирование

Встроенный сенсор

Тензо

нет

Диапазон перемещений без обратной связи, -20 … +120 В

120 / на ось

120 / на ось

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100 / на ось

-

Разрешение без обратной связи

0.2

0.2

нм

Разрешение с обратной связью

1

-

нм

Нелинейность

0.1

-

%

Точность повторного позиционирования

<10

-

нм

Тангаж (Pitch), угловые отклонения вокруг поперечной оси при движении. X, Y

± 5

± 5

мкрад

Отклонение qx (Runout) при движении по оси Z

± 10

± 10

мкрад

Рыскание (Yaw) угловые отклонения вокруг вертикальной оси при движении. X

± 20

± 20

мкрад

Рыскание (Yaw) угловые отклонения вокруг вертикальной оси при движении. Y

± 10

± 10

мкрад

Отклонение qy (Runout) при движении по оси Z

± 10

± 10

мкрад

Механические характеристики

Жесткость

0.3

0.3

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки X / Y / Z

350 / 220 / 250

350 / 220 / 250

Гц

Резонансная частота c нагрузкой 30 гр. X / Y / Z

270 / 185 / 230

270 / 185 / 230

Гц

Резонансная частота c нагрузкой 100 гр. X / Y / Z

180 / 135 / 200

180 / 135 / 200

Гц

Толкающая / тянущая сила в направлении перемещения

+15 / -10

+15 / -10

Н

Допустимая нагрузка

15

15

Н

Характеристики привода

Марка пьезокерамики

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая емкость

1.5

1.5

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC)

1.9

1.9

мкА/(Гц*мкм)

Прочие характеристики

Диапазон рабочих температур

-20 … +80

-20 … +80

°С

Материал

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь

Габаритные размеры

44 х 44 х 43.2 (SF: 44х50х44.2)

44 х 44 х 43.2 (OF: 44х50х44.2)

мм

Масса

0.32

0.32

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

м

Тип коннектора датчик / питание

Sub-D / Sub-D

- / Sub-D