P-620.2 - P-629.2
Пьезоплатформы серии P-620.2 – P-629.2 предназначены для перемещения объектов массой до 1 кг на дистанцию до 1500 мкм (в режиме с обратной связью) вдоль линейных осей X и Y. В режиме без обратной связи максимальный диапазон перемещения составляет 1800 мкм по каждой из осей X и Y.
Данные позиционеры имеют компактные габариты, что позволяет их использовать в условиях ограниченного пространства.
Основой привода данных платформ является пьезоактуатор P-882-P-888 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.
Платформы оснащены ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Ёмкостный датчик вместе с системой обратной связи позволяет пользователю определить текущую координату платформы, а также добиться повторяемости перемещения в нанометровом диапазоне.
Существует возможность конструирования трёхкоординатных систем вместе с Z-пьезоплатформами P-620.Z-P-622.Z.
Для управления данными позиционерами компания Physik Instrumente выпускает цифровой контроллер серии E-727 с интерфейсами Ethernet, USB и RS-232 для обмена данными с ПК.
Доступны вакуумные версии платформ (до 10-9 гПа) с номерами P-62x.2UD
Некоторые области применения P-620.2 – P-629.2:
· Интерферометрия
· Метрология
· Полупроводниковая промышленность
· Микроскопия
· Лазерная технология
