тел: (495) 600-40-84
P-620.2 - P-629.2

P-620.2 - P-629.2

Пьезоплатформы серии P-620.2 – P-629.2 предназначены для перемещения объектов массой до 1 кг на дистанцию до 1500 мкм (в режиме с обратной связью) вдоль линейных осей X и Y. В режиме без обратной связи максимальный диапазон перемещения составляет 1800 мкм по каждой из осей X и Y.

Данные позиционеры имеют компактные габариты, что позволяет их использовать в условиях ограниченного пространства.

Основой привода данных платформ является пьезоактуатор P-882-P-888 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.

Платформы оснащены ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Ёмкостный датчик вместе с системой обратной связи позволяет пользователю определить текущую координату платформы, а также добиться повторяемости перемещения в нанометровом диапазоне.

Существует возможность конструирования трёхкоординатных систем вместе с Z-пьезоплатформами P-620.Z-P-622.Z.

Для управления данными позиционерами компания Physik Instrumente выпускает цифровой контроллер серии E-727 с интерфейсами Ethernet, USB и RS-232 для обмена данными с ПК.

Доступны вакуумные версии платформ (до 10-9 гПа) с номерами P-62x.2UD

Некоторые области применения P-620.2 – P-629.2:

· Интерферометрия

· Метрология

· Полупроводниковая промышленность

· Микроскопия

· Лазерная технология

Характеристика

P-620.2CD/
P-620.2CL

P-621.2CD/
P-621.2CL

P-622.2CD/
P-622.2CL

Единица измерения

Допуск

Направление перемещения

X,Y

X,Y

X,Y

Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) по каждой из осей X и Y

60

120

300

мкм

мин (20%/-0%)

Диапазон перемещений с обратной связью по каждой из осей X и Y

50

100

250

мкм

Разрешение без обратной связи

0.1

0.2

0.4

нм

тип

Разрешение с обратной связью

0.2

0.4

0.7

нм

тип

Нелинейность

0.02

0.02

0.02

%

тип

Точность повторного позиционирования

±2

±2

±2

нм

тип

Отклонение вокруг осей Y / Z

±3

±3

±3

мкрад

тип

Жёсткость

0.22

0.25

0.2

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки (ось X)

575

420

225

Гц

±20%

Резонансная частота без нагрузки (ось Y)

800

535

300

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 50 г (ось X)

270

285

180

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 50 г (ось Y)

395

365

215

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 100 г (ось X)

285

220

160

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 100 г (ось Y)

300

285

175

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения

10/5

10/8

10/8

Н

макс

Допустимая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Допустимая боковая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Тип пьезокерамики

PICMA® P-883

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая ёмкость (X,Y)

0.35

1.5

3.1

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока (X,Y)

0.9

1.9

1.9

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Габариты

30×30×21.5 мм

40×40×25

50×50 ×25

мм

Масса

0.195

0.295

0.348

кг

±5 %

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика/ сигнального кабеля

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO


Характеристика

P-625.2CD
P-625.2CL

P-628.2CD
P-628.2CL

P-629.2CD
P-629.2CL

Единица измерения

Допуск

Направление перемещения

X,Y

X,Y

X,Y

Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В) по каждой из осей X и Y

600

950

1800

мкм

мин (20%/-0%)

Диапазон перемещений с обратной связью по каждой из осей X и Y

500

800

1500

мкм

Разрешение без обратной связи

0.5

0.5

2

нм

тип

Разрешение с обратной связью

1.4

3.5

3.5

нм

тип

Нелинейность

0.03

0.03*

0.03**

%

тип

Точность повторного позиционирования

±5

±10

±14

нм

тип

Отклонение вокруг осей Y / Z

±3/±5

±20/±5

±30/±5

мкрад

тип

Жёсткость

0.1

0.05

0.1

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки (ось X)

135

75

60

Гц

±20%

Резонансная частота без нагрузки (ось Y)

195

105

100

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 50 г (ось X)

120

60

55

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 50 г (ось Y)

150

85

85

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 100 г (ось X)

105

55

50

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 100 г (ось Y)

125

75

80

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие в направлении перемещения

10/8

10/8

10/8

Н

макс

Допустимая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Допустимая боковая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Тип пьезокерамики

PICMA® P-885

PICMA® P-887

PICMA® P-888

Электрическая ёмкость (X,Y)

6.2

19

52

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока (X,Y)

1.6

3

4.3

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Габариты

60×60×25

80×80×25

100х100×40

мм

Масса

0.43

0.7

1.37

кг

±5 %

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика/ сигнального кабеля

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO


Нижняя ось X, верхняя ось Y

Версии без датчика положения имеют номер P-62x.20L. Диапазон рабочих температур у данной серии от -20 до 150 ° С. Тип разъёма для датчика/ сигнального кабеля LEMO

*С использованием цифрового контроллера. При работе с аналоговым контроллером нелинейность составляет 0.05 %

**С использованием цифрового контроллера. При работе с аналоговым контроллером нелинейность составляет 0.08 %