N-111
Линейные актуаторы серии N-111 NEXLINE являются компактными устройствами для нанопозиционирования с диапазоном перемещения 10 мм. Данные актуаторы обладают высоким разрешением и способны развивать усилия до 50 Н.
Принцип работы актуатора основывается на использовании двух типов пьезоэлементов: линейного и сдвигового (рис. 1). Линейные пьезоэлементы закрепляются на основании, на которое действует сила преднагрузки. Пьезоэлементы сдвига контактируют с подвижной частью, перемещая её в двух направлениях. Таким образом, пьезодвигатели NEXLINE позволяют осуществлять перемещения на большие расстояния с высокой точностью.
Для позиционирования с обратной связью актуатор N-111.2A оснащён линейным энкодером, обеспечивающим разрешение в 5 нм на всём диапазоне перемещения.
Пьезодвигатели серии NEXLINE используются для перемещения объектов с высокой массой.
На большие расстояния с высокой точностью. Путём варьирования параметров линейных и сдвиговых пьезоэлементов можно изменять такие параметры как шаг, диапазон перемещения, скорость, жёсткость для достижения наилучшей производительности для различных задач.
Режимы работы линейного актуатора N-111:
1) «Шаговый режим» - движение «ног» двигателя осуществляется попарно. Ход пьезоэлементов сдвига определяет шаг позиционирования (рис.1).
2) «Наношаговый режим» - все пьезоэлементы движутся одновременно и находятся в контакте с подвижной частью. В результате актуатор движется равномерно (графики движения актуатора в «шаговом» и «наношаговом» режимах приведены на рис.2).
3) «Непрерывный режим» - движутся только пьезоэлементы сдвига. Все «ноги» двигателя находятся в контакте с подвижной частью.
Возможные области применения:
· Полупроводниковая промышленность
· Устройства для контроля поверхности кристаллических пластин
· Нанолитография
· Нанопечать
· Нанометрология
· Устройства активного подавления вибраций
· Позиционирование в сильных магнитных полях
