тел: (495) 600-40-84
N-111

N-111

Линейные актуаторы серии N-111 NEXLINE являются компактными устройствами для нанопозиционирования с диапазоном перемещения 10 мм. Данные актуаторы обладают высоким разрешением и способны развивать усилия до 50 Н.

Принцип работы актуатора основывается на использовании двух типов пьезоэлементов: линейного и сдвигового (рис. 1). Линейные пьезоэлементы закрепляются на основании, на которое действует сила преднагрузки. Пьезоэлементы сдвига контактируют с подвижной частью, перемещая её в двух направлениях. Таким образом, пьезодвигатели NEXLINE позволяют осуществлять перемещения на большие расстояния с высокой точностью.

Для позиционирования с обратной связью актуатор N-111.2A оснащён линейным энкодером, обеспечивающим разрешение в 5 нм на всём диапазоне перемещения.

Пьезодвигатели серии NEXLINE используются для перемещения объектов с высокой массой.

На большие расстояния с высокой точностью. Путём варьирования параметров линейных и сдвиговых пьезоэлементов можно изменять такие параметры как шаг, диапазон перемещения, скорость, жёсткость для достижения наилучшей производительности для различных задач.

Режимы работы линейного актуатора N-111:

1) «Шаговый режим» - движение «ног» двигателя осуществляется попарно. Ход пьезоэлементов сдвига определяет шаг позиционирования (рис.1).

2) «Наношаговый режим» - все пьезоэлементы движутся одновременно и находятся в контакте с подвижной частью. В результате актуатор движется равномерно (графики движения актуатора в «шаговом» и «наношаговом» режимах приведены на рис.2).

3) «Непрерывный режим» - движутся только пьезоэлементы сдвига. Все «ноги» двигателя находятся в контакте с подвижной частью.

Возможные области применения:

· Полупроводниковая промышленность

· Устройства для контроля поверхности кристаллических пластин

· Нанолитография

· Нанопечать

· Нанометрология

· Устройства активного подавления вибраций

· Позиционирование в сильных магнитных полях 

Модель

N-111.20

N-111.2A

Допуск

Направление перемещения

X

X

Диапазон перемещения

10

10

Разрешение при позиционировании в «шаговом» режиме

От 10 нм до 7 мкм *

Диапазон перемещения в «непрерывном» режиме

±2 мкм

±2 мкм

Тип встроенного сенсора

Линейный энкодер

Разрешение без обратной связи

0.025 нм

0.025 нм

Разрешение с обратной связью

-

5 нм

Максимальная скорость (10% рабочего цикла в «шаговом» режиме)**

1 мм/сек

1 мм/сек

Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «шаговом» режиме)**

0.6 мм/сек

0.6 мм/сек

Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «наношаговом» режиме)***

0.4 мм/сек

0.4 мм/сек

Жёсткость в направлении перемещения

16 Н/мкм

16 Н/мкм

±20 %

Толкающее усилие ****

50 Н

50 Н

макс.

Удерживающее усилие (при выключенном питании)

70 Н

70 Н

мин.

Тип двигателя

NEXLINE

NEXLINE

Рабочее напряжение

±250 В

±250 В

Диапазон рабочих температур

от -40 0С до 80 0С

от -40 0С до 80 0С

Материал корпуса

Алюминий

Нержавеющая сталь

Титан

Алюминий

Нержавеющая сталь

Титан

Масса

245

325

Длина кабеля

1.5

1.5

±10 мм

Тип разъёма

Sub-D

Sub-D + разъём для сенсора

Рекомендуемый контроллер

Е-755.101, E-712

Е-755.1A1, E-712


* В режиме без обратной связи шаг задаётся пользователем. В режиме с обратной связью контроллер оптимизирует величину шага. Величина шага управляется напряжением, подаваемым на пьезоэлементы сдвига, в результате чего изменяется скорость перемещения.

** Указанные характеристики достигаются только при использовании актуатора вместе с контроллером E-712

*** Указанные характеристики достигаются только при использовании актуатора вместе с контроллером E-712. При использовании контроллера E-755 скорости позиционирования соответственно равны 0.1 мм/сек (режим работы с обратной связью), 0.2 мм/сек (режим работы без обратной связи). Максимальная скорость в «наношаговом» режиме рассчитана как наиболее высокая постоянная скорость (без флуктуаций), которая может быть достигнута актуатором.

**** Указанные характеристики относятся к «шаговому» режиму работы актуатора.