тел: (495) 600-40-84
N-216

N-216

Актуаторы серии N-216 NEXLINE являются устройствами линейного нанопозиционирования с высокой нагрузочной способностью (600 Н) и диапазоном перемещения до 20 мм.

Принцип работы актуатора основывается на использовании двух типов пьезоэлементов: линейного и сдвигового. Линейные пьезоэлементы закрепляются на основании, на которое действует сила преднагрузки. Пьезоэлементы сдвига контактируют с подвижной частью, перемещая её в двух направлениях. Таким образом, пьезодвигатели NEXLINE позволяют осуществлять перемещения на большие расстояния с высокой точностью.

Модели N-216.1A1 и N-216.2A1 оснащены энкодером для точного определения координаты актуатора в каждый момент времени. Разрешение энкодера составляет 5 нм на всём диапазоне перемещения. В режиме без обратной связи разрешение составляет 30 пм.

Пьезодвигатели серии NEXLINE используются для перемещения объектов с высокой массой на большие расстояния с высокой точностью. Путём варьирования параметров линейных и сдвиговых пьезоэлементов можно изменять такие параметры как шаг, диапазон перемещения, скорость, жёсткость для достижения наилучшей производительности для различных задач.

Режимы работы линейного актуатора N-216:

1) «Шаговый режим» - движение «ног» двигателя осуществляется попарно. Ход пьезоэлементов сдвига определяет шаг позиционирования.

2) «Наношаговый режим» - все пьезоэлементы движутся одновременно и находятся в контакте с подвижной частью. В результате актуатор движется равномерно.

3) «Непрерывный режим» - движутся только пьезоэлементы сдвига. Все «ноги» двигателя находятся в контакте с подвижной частью.

Возможные области применения:

· Полупроводниковая промышленность

· Устройства для контроля поверхности кристаллических пластин

· Нанолитография

· Нанопечать

· Нанометрология

· Устройства активного подавления вибраций

· Позиционирование в сильных магнитных полях

Модель

N-216.101 / N-216.1A1

N-216.201 / N-216.2A1

Направления перемещения

Х

Х

Диапазон перемещения

20

20

Разрешение при позиционировании в «шаговом» режиме

от 10 нм до 10 мкм *

от 10 нм до 10 мкм *

Диапазон перемещения в «непрерывном» режиме

±3 мкм

±3 мкм

Тип встроенного сенсора

-/линейный энкодер

-/линейный энкодер

Разрешение без обратной связи

0.03 нм

0.03 нм

Разрешение с обратной связью

-/5 нм

-/5 нм

Максимальная скорость (10% рабочего цикла в «шаговом» режиме)

1 мм/сек

1 мм/сек

Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «шаговом» режиме)

0.6 мм/сек

0.6 мм/сек

Максимальная скорость (100% рабочего цикла в «наношаговом» режиме)

0.4 мм/сек

0.4 мм/сек

Толкающее усилие (макс.) **

300 Н

600 Н

Удерживающее усилие (при выключенном питании, мин.)

400 Н

800 Н

Тип двигателя

NEXLINE

NEXLINE

Рабочее напряжение

± 250 В

± 250 В

Диапазон рабочих температур

от -40 0С до 80 0С

от -40 0С до 80 0С

Материал корпуса

алюминий, нержавеющая сталь

алюминий, нержавеющая сталь

Масса

1150 г

1250 г

Длина кабеля

2.0 м

2.0 м

Тип разъёма

Sub-D 25

Sub-D 25

Рекомендуемый контроллер

E-712.1AM

E-712.1AM


* В режиме без обратной связи шаг задаётся пользователем. В режиме с обратной связью контроллер оптимизирует величину шага. Величина шага управляется напряжением, подаваемым на пьезоэлементы сдвига, в результате чего изменяется скорость перемещения.

** Указанные характеристики относятся к «шаговому» режиму работы актуатора.