тел: (495) 600-40-84
N-310

N-310

Линейные пьезоприводы N-310 серии NEXACT® PiezoWalk® сочетают в себе широкий диапазон перемещения (до 125 мм) и максимальное толкающее / тянущее усилие (до 10 Н). Данные устройства отличаются высокой компактностью (25 мм x 25 мм x 12мм). Двигатели серии NEXACT® идеально подходят для задач прецизионного позиционирования при перемещении на расстояния порядка нескольких десятков миллиметров.

Пьезоприводы N-310 предусмотрены для работы в системах без обратной связи. Для режима работы с обратной связью необходимо использовать внешний датчик положения. Разнообразие управляющих контроллеров серии NEXACT® облегчает интеграцию в микро- и нанопозиционирующие приложения.

Приводы NEXACT® обладают долгим временем службы благодаря отсутствию люфтов и трения механических компонентов.

Особенности работы для различных применений

С технологией NEXACT® PiezoWalk® преодолеваются ограничения обычного нанопозиционирующего привода. Появилась возможность сочетать практически не- ограниченный диапазон перемещения с высокой точностью. Миниатюрные актуаторы серии NEXACT® обеспечивают разрешающую способность порядка нанометров и миллисекундное время отклика. 
Специально разработанный двигатель серии NEXACT® рассчитан на работу с низким рабочим напряжением (до 45 Вольт и ниже).

Приводы NEXACT обеспечивают фиксацию положения при выключении питания, таким образом, удерживая нагрузку при отсутствии тока.

Некоторые возможные применения

  • Полупроводниковая промышленость
  • Контроль полупроводниковых пластин
  • Нанолитография
  • Оборудование для измерения поверхностей
  • Профилометрия
  • Микроскопия
  • Перемещения в сильных магнитных полях

Характеристика

N-310

Погрешность

Направление перемещения

X

Характеристики движения и позиционирования

Предел перемещения

N-310.10: 10 мм

N-310.11: 20 мм

N-310.12: 30 мм

N-310.13: 50 мм

N-310.14: 75 мм

N-310.15: 100 мм

N-310.16: 125 мм

Размер шага (в шаговом режиме)

от 5 нм до 5 мкм

Диапазон перемещения при аналоговом режиме работы

10 мкм

Разрешение без обратной связи

0.03 нм*

Шаговая частота

1.5 кГц*

Максимальная скорость перемещения

10 мм/с*

Механические характеристики

Максимальное толкающее / тянущее усилие (в режиме перемещения)

10 Н

Характеристики двигателя

Тип двигателя

NEXACT® линейный привод

Рабочее напряжение

от -10 до +45 В

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от 0 до +50 °С

Материал корпуса

Нержавеющая сталь, немагнитная

Масса

50 г (20 мм диапазон перемещения)

±5%

Длина кабеля

1.5 м

±10 мм

Тип разъёма

HD Sub-D разъём

15 pin, одноканальный


* В зависимости от управляющей электроники, 1 нм с контроллером E-861.