N-310
Линейные пьезоприводы N-310 серии NEXACT® PiezoWalk® сочетают в себе широкий диапазон перемещения (до 125 мм) и максимальное толкающее / тянущее усилие (до 10 Н). Данные устройства отличаются высокой компактностью (25 мм x 25 мм x 12мм). Двигатели серии NEXACT® идеально подходят для задач прецизионного позиционирования при перемещении на расстояния порядка нескольких десятков миллиметров.
Пьезоприводы N-310 предусмотрены для работы в системах без обратной связи. Для режима работы с обратной связью необходимо использовать внешний датчик положения. Разнообразие управляющих контроллеров серии NEXACT® облегчает интеграцию в микро- и нанопозиционирующие приложения.
Приводы NEXACT® обладают долгим временем службы благодаря отсутствию люфтов и трения механических компонентов.
Особенности работы для различных применений
С технологией NEXACT® PiezoWalk® преодолеваются ограничения обычного нанопозиционирующего привода. Появилась возможность сочетать практически не- ограниченный диапазон перемещения с высокой точностью. Миниатюрные актуаторы серии NEXACT® обеспечивают разрешающую способность порядка нанометров и миллисекундное время отклика.
Специально разработанный двигатель серии NEXACT® рассчитан на работу с низким рабочим напряжением (до 45 Вольт и ниже).
Приводы NEXACT обеспечивают фиксацию положения при выключении питания, таким образом, удерживая нагрузку при отсутствии тока.
Некоторые возможные применения
- Полупроводниковая промышленость
- Контроль полупроводниковых пластин
- Нанолитография
- Оборудование для измерения поверхностей
- Профилометрия
- Микроскопия
- Перемещения в сильных магнитных полях