тел: (495) 600-40-84
A-110

A-110

Линейная платформа A-110 предназначена для горизонтального перемещения объектов с массой до 10 кг на дистанциии до 400 мм с точностью порядка ±1 мкм. Перемещаемый объект может быть закреплён на подвижный столик с размерами 160 мм х 200 мм

Благодаря воздушным подшипникам с магнитной преднагрузкой, использующимся в системе привода, обеспечивается режим работы без трения, что повышает точность позиционирования, минимизирует отклонение позиционера от прямолинейного перемещения и обеспечивает надёжность при длительной эксплуатации. Благодаря данным свойствам позиционеры на воздушных подшипниках, и в частности A-110, идеально подходят для задач прецизионного сканирования.

Благодаря встроенному энкодеру обеспечивается точность повторного позиционирования порядка ±0.5 мкм.

В связи с отсутствием трения при работе позиционера не образуется посторонних частиц, что позволяет использовать привод A-110 в чистых помещениях.

Благодаря встроенному линейному электродвигателю платформа может развивать скорость до 1 м/сек.

Возможные области применения:

Метрология
Фотоника
Прецизионное сканирование
Полупроводниковая промышленность
Производство плоских дисплеев

Более подробную информацию о применении позиционеров на воздушных подшипниках Вы можете прочесть в статье по следующей ссылке.

Может быть рассмотрена возможность изготовить XY комбинацию из A-110 по индивидуальным требованиям, сделать гранитное основание и/или систему для уменьшения вибраций.

Характеристики

A-110.050xx

A-110.100xx

A-110.200xx

A-110.300xx

A-110.400xx

Ед. измер

Допуск

Направления перемещения

Х

Х

Х

Х

Х

Диапазон перемещения

50

100

200

300

400

мм

Отклонение вокруг оси Y (Pitch)*

10

20

30

40

50

мкрад

макс

Отклонение вокруг оси Z (Yaw)*

10

20

30

40

50

мкрад

макс

Прямолинейность /плоскопараллель

ность*

±1

±1

±1.5

±2

±2.5

мкм

макс

Прямолинейность /плоскопараллельность для дистанции до 10 мм*

±10

±10

±10

±10

±10

нм

макс

Скорость без нагрузки**

0.5

0.5

1

1

1

м/сек

макс

Ускорение без нагрузки**

10

10

30

30

30

м/сек2

макс

Нагрузка вдоль оси Z***

100

100

100

100

100

Н

макс

Перемещаемая масса

2.5

2.5

2.6

2.6

2.6

кг

Общая масса

6.3

7.5

11

12

14

кг

Тип привода

Воздушные подшипники

Воздушные подшипники

Воздушные подшипники

Воздушные подшипники

Воздушные подшипники

Тип двигателя

Линейный двигатель

Линейный двигатель

Линейный двигатель

Линейный двигатель

Линейный двигатель

Эффективное напряжение

48 ном

60 макс

48 ном

60 макс

48 ном

60 макс

48 ном

60 макс

48 ном

60 макс

В

Пиковое усилие

25

25

85

85

85

Н

тип

Номинальное усилие

9.2

9.2

39

39

39

Н

тип

Силовая постоянная

4.2

4.2

12.3

12.3

12.3

Н/А

тип

Сопротивление, фаза-фаза

8.2

8.2

3.6

3.6

3.6

Ом

тип

Индуктивность, фаза-фаза

2.7

2.7

1.24

1.24

1.24

мГ

тип

Противодействую

щая ЭДС, фаза-фаза

4.2

4.2

10.1

10.1

10.1

В*с/м

макс

Расположение кабелей

Внутри, нет движущихся кабелей

Внутри, нет движущихся кабелей

Снаружи, движущиеся кабели

Снаружи, движущиеся кабели

Снаружи, движущиеся кабели


Характеристики

A-110.xxxA

A-110.xxxB

A-110.xxxC

Тип встроенного датчика

Инкрементный линейный энкодер

Абсолютный энкодер

Инкрементный линейный энкодер

Тип сигнала с датчика

Sin/cos, размах 1 V, период 20 мкм

BiSS-C

A/B квадратурный, TTL

Разрешение датчика

зависит от контроллера

1 нм

50 нм

Точность двунаправленного повторного позиционирования

зависит от контроллера

±0.5 мкм

±0.5 мкм

Точность, без компенсации погрешности #

A-110.050: ± 1 мкм

A-110.100: ± 1.5 мкм

A-110.200: ± 2 мкм

A-110.300: ± 3 мкм

A-110.400: ± 4 мкм

A-110.050: ± 1.5 мкм

A-110.100: ± 1.5 мкм

A-110.200: ± 1.5 мкм

A-110.300: ± 1.5 мкм

A-110.400: ± 1.5 мкм

A-110.050: ± 1 мкм

A-110.100: ± 1.5 мкм

A-110.200: ± 2 мкм

A-110.300: ± 3 мкм

A-110.400: ± 4 мкм

Точность, с компенсацией погрешности #

A-110.050: ± 1 мкм

A-110.100: ± 1 мкм

A-110.200: ± 1 мкм

A-110.300: ± 1.5 мкм

A-110.400: ± 1.5 мкм

A-110.050: ± 0.5 мкм

A-110.100: ± 0.5 мкм

A-110.200: ± 0.5 мкм

A-110.300: ± 0.5 мкм

A-110.400: ± 0.5 мкм

A-110.050: ± 1 мкм

A-110.100: ± 1 мкм

A-110.200: ± 1 мкм

A-110.300: ± 1.5 мкм

A-110.400: ± 1.5 мкм


Характеристики

A-110

Рабочее давление ##

от 415 до 485 кПа

Потребление воздуха

28 ст. л./мин

Качество воздуха

Чистый, качество фильтрации до 1 мкм и лучше - ISO 8573–1, класс 1

Не содержит масла ISO 8573–1, класс 1

Сухой (точка росы -15°С), ISO 8573–1, класс 3

Материал

Твёрдый алюминий, крепёж из нержавеющей стали


*Зависит от качества поверхности, на которую крепится позиционер

**Существуют ограничения, которые зависят от нагрузки, параметров контроллера и двигателя

***Для случая, когда центр масс нагрузки на высоте не более 50 мм над уровнем подвижного столика. Платформа разработана только для эксплуатации в горизонтальном положении.

#Повышение точности может быть достигнуто путём компенсации погрешности. В приведённых данных по точности не учитываются эффекты, которые возникают с течением времени и связаны с нагревом платформы

##Для того, чтобы защитить позиционер от повреждения, рекомендуется подключить датчик давления к контроллеру