тел: (495) 600-40-84
M-511.HD1

M-511.HD1

Линейная платформа M-511.HD1 позволяет перемещать нагрузку до 20 кг с нанометровой точностью на дистанцию 100 мм в горизонтальном направлении.Большой диапазон перемещения и нанометровая точность достигается благодаря использованию гибридного привода, сочетающего преимущества пьезоэлектрического и DC двигателей.

Механизм платформы выполнен следующим образом: в перемещении участвуют 2 системы – DC двигатель в паре с шарико-винтовой передачей (ШВП) и пьезоэлектрический двигатель. Пьезоэлектрический двигатель с субмилисекундным временем отклика обеспечивает компенсацию люфта и прерывистого движения в моменты начала движения и остановки платформы. Пьезопривод также компенсирует неравномерность перемещения, вызванную ШВП и значительно улучшает контроль скорости.

Hybrid_principle1.jpg

Платформа M-511.HD1 оснащена линейным энкодером с разрешением 2 нм. Сигнал от энкодера используется для подачи команд DC и пьезоэлектрическому двигателю.
Для управления гибридными платформами компания Physik Instrumente (PI) разработала специальный контроллер – C-702. Контроллер оснащен интерфейсами TCP/IP, RS-232, VGA, клавиатурой.

Линейная гибридная платформа M-511.HD1 обладает высокими скоростными характеристиками: максимальная скорость перемещения составляет 50 мм/c.

Некоторые возможные применения
    • Проверка качества поверхности
    • Микроскопия
    • Лазерная технология
    • Интерферометрия
    • Метрология


Характеристика

M-511.HD1

Единица измерения

Доступные направления перемещений

X


Диапазон перемещения

100

мм

Встроенный сенсор

Линейный энкодер


Разрешение сенсора

0.002

мкм

Проектное разрешение

0.002

мкм

Минимальный шаг перемещения

0.004

мкм

Гистерезис

0.01

мкм

Точность повторного позиционирования однонаправленного

0.01

мкм

Точность

<0.05

мкм

Отклонение вокруг вертикальной оси Z (Yaw)

/ горизонтальной оси Y (Pitch)

±25 / ±25

мкрад

Прямолинейность / Плоскопараллельность

1 / 1

мкм

Максимальная скорость

50

мм/сек

Точность повторного позиционирования в начало координат

1

мкм

Тип передачи

ШВП


Направляющие

Линейный рельс, кольцевые шарикоподшипники


Шаг винта

2

мм/об.

Максимальная нагрузка

200

Н

Максимальное толкающее/тянущее усилие

80/80

Н

Допустимое боковое усилие

200

Н

Тип двигателя

Гибридный двигатель:

DC и пьезодвигатель


Рабочее напряжение DC / пьезодвигателя

24 / ±36

В

Электрическая мощность

30

Вт

Датчик контроля

Датчик Холла


Диапазон рабочих температур

от -20 до +65

° С

Материал

Анодированный алюминий


Масса

5.1

кг

Рекомендованный контроллер

С-702