тел: (495) 600-40-84
M-511 • M-521 • M-531

M-511 • M-521 • M-531

Серия платформ M-5x1 разработана для высокоточного перемещения нагрузки массой до 100 кг на дистанцию до 306 мм. Платформы изготовлены с учетом жестких требований, предъявляемых к позиционированию, и представлены несколькими моделями.

Все платформы серии М-5х1 оборудованы высокоточными линейными направляющими, обеспечивающими линейность и плоскопараллельность перемещения 1 мкм на 100 мм. Преднагруженная шариковинтовая передача позволяет уменьшить трение и люфт.

В серии М-5х1 представлены модели с диапазоном перемещений 102 мм (М-511.xx), 204 мм (М-521.xx) и 306 мм (М-531.xx). Платформы могут быть оснащены различными двигателями.

Платформы M-5x1.DD1 оснащены двигателем ШИМ (широтно-импульсная модуляция) управлением и высокоточным линейным энкодером PIOne. Благодаря наличию встроенного линейного энкодера обеспечивается очень высокая точность повторного позиционирования (0,2 мкм). Модификация M‑5x1.DD2 оснащена фиксаторами положения.

Наилучшим быстродействием обладают платформы M-5x1.PD1 (двигатель ActiveDriveTM) и M-5x1.EC (бесщёточный DC-двигатель), оснащенные угловым энкодером. Максимальная скорость составляет 100 мм/c.

В платформах M-5x1.DG1 и M-5x1.PG1 используется угловой энкодер и двигатель с редуктором, обеспечивающим минимальный шаг перемещения 0.1 мкм со скоростями до 6 мм/с.

Модели M-5x1.2S1 оснащены шаговым двигателем. Минимальный шаг перемещения этих платформ для контроллера С-663 составляет 0.1 мкм.

Среднее время безотказной работы платформ серии M-5x1 составляет не менее 20000 часов.

Возможно изготовление платформ для работы в условиях вакуума (до 10-6 гПа).

Платформы M-5x1 могут быть использованы для создания многокоординатных систем перемещения. При сборе XY комбинации из двух платформ дополнительный кронштейн не требуется. Для вертикальной установки M-5x1 на M-5x1 необходим кронштейн M-592.10. Для перемещения вдоль оси Z совместно с M-5x1 могут использоваться вертикальные платформы серии M-501.

Характеристика

M-5x1.DD1
M-5x1.DD2

M-5x1.EC

M-5x1.PD1

M-5x1.DG1

M-5x1.PG1

M-5x1.2S1

Ед. изм.

Доступные направления перемещений

Х

Х

Х

Х

Х


Диапазон перемещения

M-511: 102 (4“) / M-521: 204 (8“) / M-531: 306 (12“)

мм

Встроенный сенсор

Линейный энкодер

Угловой энкодер

Угловой энкодер

Угловой энкодер

-


Разрешение сенсора

0.05 мкм

4000

4000

2048

-

счет/об

Проектное разрешение двигателя

0.05

0.5

0.5

0.033

0.31

мкм

Минимальный шаг перемещения

0.1

0.5

0.5

0.1

0.1

мкм

Точность однонаправленного повторного позиционирования

±0.1

±0.5

±0.5

±0.2

±0.2

мкм

Люфт

±0.2*

1

1

1

1

мкм

Отклонение вокруг оси Y (Pitch), Z (Yaw)

±25 / ±35 / ±50

мкрад

Прямолинейность / Плоскопараллельность на 100 мм

1

1

1

1

1

мкм

Максимальная скорость

50

100

100

6

20

мм/сек

Направляющие

Прецизионные линейные направляющие, шариковинтовая передача


Шаг винта

2

2

2

2

2

мм

Передаточное отношение редуктора

-

-

-

≈ 29.6:1

-


Разрешение двигателя

-

-

-

-

6400**


Максимальная нагрузка

1000

1000

1000

1000

1000

Н

Максимальное толкающее/тянущее усилие

80 / 80

80 / 80

80 / 80

80 / 80

80 / 80

Н

Максимальная боковая сила

200

200

200

200

200

Н

Тип двигателя

ActiveDrive™ DC двигатель

Бесщёточный ActiveDrive™ DC двигатель

ActiveDrive™ DC двигатель

DC двигатель с редуктором

2-фазный шаговый двигатель**


Рабочее напряжение

24 PWM (ШИМ)

24 PWM (ШИМ)

24 PWM (ШИМ)

M-5x1.DG1:

от 0 до ±12
M-5x1.PG1:

24 (ШИМ)

24

В

Электрическая мощность

30

60

30

3

5

Вт

Датчик контроля

Датчик Холла

Датчик Холла

Датчик Холла

Датчик Холла

Датчик Холла


Диапазон рабочих температур

от +10 до +50

от -20 до +65

от -20 до +65

от -20 до +65

от -20 до +65

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий


Масса

5 (M‐511) / 6.1 (M‐521) / 7.2 (M‐531)

кг

Разъём, длина кабеля

Sub‐D 15‐pin, 3 м


Рекомендуемый контроллер

С-863.11,
C-884.4D

С-863.11,
C-884.4D

С-863.11,
C-884.4D

С-863.11,
C-884.4D

С-663.11


* Точность двунаправленного повторного позиционирования для модификаций с линейным энкодером
** 2-фазный шаговый двигатель, 24 В, max. 0.8 A/фазу, 400 полных шаг/об., разрешение двигателя указано для работы с контроллером C-663