тел: (495) 600-40-84
N-565

N-565

Линейные платформы N-565 позволяют осуществлять позиционирование объектов массой до 1 кг на дистанцию до 52 мм с нанометровой точностью.

В платформах N-565 используется пьезоэлектрический двигатель NEXACT®, обеспечивающий прецизионное перемещение с минимальным шагом в 2 нм.

Платформы N-565 оснащены оптическим энкодером PIOne, разработанным компанией PI, который позволяет достичь повторяемости перемещения в нанометровом диапазоне.

Платформы оснащены функцией самоблокировки при отключении питания, что позволяет сохранить электроэнергию и уменьшить тепловыделение.

Использование подшипников с перекрещивающимися роликами в системе привода позволяет достичь очень высоких показателей прямолинейности и плоскопараллельности движения.

Благодаря своей компактности и наличию крепежных отверстий платформы N-565 можно легко интегрировать в системы позиционирования. Для управления позиционерами N-565 используется контроллер серии E-861

Области возможного применения:
  • Фотоника
  • Полупроводниковая промышленность
  • Микроманипулирование
  • Микроскопия
  • Автоматика

Характеристика

N-565.160

N-565.260

N-565.360

Ед. измер.

Допуск

Доступные направления перемещений

X

X

X

Диапазон перемещения

13

26

52

мм

Встроенный сенсор

оптический энкодер PI One

оптический энкодер PI One

оптический энкодер PI One

Разрешение сенсора

0.5

0.5

0.5

нм

Минимальный шаг перемещения

2

2

2

нм

Скорость перемещения с обратной связью

10

10

10

мм/сек

макс.

Точность повторного позиционирования однонаправленного

±5

±5

±5

нм

тип.

Точность повторного позиционирования двунаправленного

12

12

12

нм

тип.

Прямолинейность/плоскостность

±1

±1

±1.5

мкм

тип

Отклонение от поперечной оси (Y)

±30

±40

±80

мкрад

тип

Отклонение от вертикальной оси (Z)

±30

±30

±30

мкрад

тип

Максимальная нагрузка

20

20

20

Н

макс.

Максимальное толкающее усилие

10

10

10

Н

макс.

Удерживаемое усилие (питание выкл.)

10

10

10

Н

макс.

Тип двигателя

Шаговый пьезодвигатель NEXACT

Рабочее напряжение

от -10 до 45

от -10 до 45

от -10 до 45

В

Диапазон рабочих температур

от 10 до 50

от 10 до 50

от 10 до 50

° С

Материал

Анодированный алюминий

Длина кабеля

3

3

3

м

±10 мм

Тип разъёма (двигатель)

1 × HD Sub-D, 15-pin, m.

Тип разъёма (датчик)

1 × Sub-D, 15-pin, f.