тел: (495) 600-40-84
Q-522

Q-522

Пьезоплатформы Q-522 предназначены для линейного перемещения объектов массой до 1 кг с высокой точностью.

Компактные размеры платформ данной серии (22÷42х32х10 мм) позволяют применять их в условиях ограниченного пространства.

Основой привода Q-522 является пьезоэлектрический инерционный двигатель PI Shift, который обеспечивает минимальный шаг перемещения до 2 нм.

Кроме того, двигатель оснащён функцией самоблокировки, в режиме ожидания тепловыделение отсутствует.

Все платформы данной серии, кроме модификаций Q-522.x00 и Q-522.x0U, оснащены линейным энкодером, что позволяет обеспечить точность повторного позиционирования ±20 нм.

Две платформы Q-522 могут быть объединены в XY комбинацию без дополнительных крепёжных элементов. Существует возможность установки вращающейся платформы Q-622 сверху на Q-522.

Доступны вакуумные модификации: Q-522.030; Q-522.040; Q-522.130; Q-522.140; Q-522.230; Q-522.240 - до 10-6 гПа, а также Q-522.04U; Q-522.14U; Q-522.24U – до 10-9 гПа. Возможно производство под заказ немагнитных платформ.

Для управления платформами Q-522 производитель выпускает контроллеры E-870 (для модификаций без датчика положения) и E-871/E-873 (для модификаций с датчиком положения). 

Характеристика

Q-522.030

Q-522.040/

Q-522.04U

Q-522.130

Q-522.140/

Q-522.14U

Q-522.230

Q-522.240/

Q-522.24U

Q-522.x00/

Q-522.x0U

Ед. измер.

Диапазон перемещения

6.5

6.5

13

13

26

26

от 6.5 до 26

мм

Направления

перемещения

Х

Х

Х

Х

Х

Х

Х

Тип встроенного

сенсора

Линейный

энкодер

Линейный

энкодер

Линейный

энкодер

Линейный

энкодер

Линейный

энкодер

Линейный

энкодер

-

Разрешение

сенсора

4

1

4

1

4

1

-

нм

Минимальный шаг

8

2

8

2

8

2

-

нм

Точность повторного

позиционирования

(однонаправленного)

на всём диапазоне

перемещения

25

25

25

25

30

30

-

нм

Точность повторного

позиционирования

(двунаправленного)

на всём диапазоне

перемещения

40

40

40

40

50

50

-

нм

Точность повторного

позиционирования

(однонаправленного)

в случае перемещения

в пределах 100 мкм

12

12

12

12

12

12

-

нм

Точность повторного

позиционирования

(двунаправленного)

в случае перемещения

в пределах 100 мкм

24

24

24

24

24

24

-

нм

Отклонение вокруг

оси Y (Pitch)/Z (Yaw)

на всём диапазоне

перемещения

100

100

100

100

100

100

100

мкрад

Отклонение вокруг

оси Y (Pitch)/Z (Yaw)

в случае перемещения

в пределах 100 мкм

1

1

1

1

1

1

1

мкрад

Максимальная

скорость *

10

10

10

10

10

10

10

мм/сек

Допустимая масса

нагрузки

1

1

1

1

1

1

1

кг

Толкающее/тянущее

усилие

1

1

1

1

1

1

1

Н

Длина

22

22

32

32

42

42

от 22 до 42

мм

Ширина

32

32

32

32

32

32

22

мм

Высота

10

10

10

10

10

10

10

мм

Тип двигателя

PI Shift

PI Shift

PI Shift

PI Shift

PI Shift

PI Shift

PI Shift

Диапазон

рабочих температур

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

от 0 до 40

°С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Длина кабеля

1

1

1

1

1

1

1

м

Масса (с кабелем)

107

107

118

118

128

128

от 68 до 88

г

Тип разъёма

Sub-D

Sub-D

Sub-D

Sub-D

Sub-D

Sub-D

Sub-D

Рекомендуемый

контроллер

E-871/

E-873

E-871/

E-873

E-871/

E-873

E-871/

E-873

E-871/

E-873

E-871/

E-873

E-870

*при частоте управляющего сигнала 20 кГц