-
M-686
Линейная двухкоординатная платформа M-686.D64 обладает компактными габаритами, высокой скоростью и позволяет перемещать нагрузки массой до 5 кг на дистанцию 25 мм вдоль осей XY.
В платформе M-686.D64 используются две пары
ультразвуковых пьезоэлектрических двигателей PILine® U-164, разработанных компанией Physik Instrumente (PI). Платформа M-686.D64 обладает апертурой 78 х 78 мм в начальном положении и 65 х 65 мм при максимальном смещении по осям X и Y. При отключении питания платформа фиксируется в текущем положении, максимальное удерживающее усилие при этом составляет 6 Н.
На платформу M-686.D64 без использования дополнительных крепежных адаптеров могут быть установлены следующие системы нанопозиционирования:
• P-561 • P-562 • P-563 PIMars XYZ
• P-541.2 • P-542.2 XY
• P-541.Z
Некоторые возможные области применения
• Биотехнология
• Оптические исследования
• Микроскопия
• Тестирование в полупроводниковой промышленности
|
Характеристика
|
M-686.D64
|
Ед. изм.
|
|
Доступные направления перемещений
|
X, Y
|
|
|
Диапазон перемещения
|
25 x 25
|
мм
|
|
Встроенный сенсор
|
Линейный энкодер
|
|
|
Разрешение сенсора
|
0.1
|
мкм
|
|
Проектное разрешение
|
0.1
|
мкм
|
|
Минимальный шаг перемещения
|
0.3
|
мкм
|
|
Точность повторного позиционирования (двунаправленного)
|
±0.3
|
мкм
|
|
Отклонение вокруг оси (Pitch(X)/Yaw(Y))
|
±50
|
мкрад
|
|
Максимальная скорость
|
100
|
мм/с
|
|
Максимально допустимая нагрузка*
|
50
|
Н
|
|
Максимальное толкающее / тянущее усилие
|
7
|
Н
|
|
Максимальная удерживаемая нагрузка (при выключенном питании привода)
|
6
|
Н
|
|
Тип двигателя
|
PILine® U-164
|
|
|
Датчик начала отсчета
|
Оптический
|
|
|
Датчик контроля
|
Датчик Холла
|
|
|
Диапазон рабочих температур
|
-20 до +50
|
°С
|
|
Материал
|
Анодированный алюминий
|
|
|
Линейные размеры
|
170 × 170 × 32
|
мм
|
|
Масса
|
1.8
|
кг
|
|
Длина кабеля
|
1.5
|
м
|
|
Тип разъема
|
2x MDR connector, 14-pin
|
|
|
Рекомендуемый контроллер
|
С-867
|
|
* 10 Н для максимальной скорости
