-
MCS
Двухкоординатная платформа с апертурой серии MCS разработана специально для полупроводниковой промышленности и задач микроскопии.
Диапазон перемещения платформы в стандартном исполнении 102х102 мм, опционально диапазон может быть расширен до 205х205 мм или 305х305 мм. Платформа оборудована направляющими с ШВП, оптическими датчиками для ограничения хода.
Возможны варианты конструкции платформы с DC, шаговым или линейным двигателем.
Для достижения более высокой повторяемости позиционирования платформа может быть оснащена энкодером.
В зависимости от приложения, типа двигателя и нагрузки платформа может развивать скорость в диапазоне от 0.001 до 240 мм/сек.
|
Диапазон перемещения, мм
|
102х102 (опционально 205х205 или 305х305)
|
|
Вес, кг
|
22
|
|
Тип двигателя (шаг винта 2 мм)
|
DC-B-040
|
2Phase-048
|
LM-010
|
|
Максимальная скорость (мм/сек.)
|
90
|
35
|
240
|
|
Разрешение (расчетное), мкм
|
0.1*
|
10**
|
|
|
Разрешение (стандартное) без энкодера, мкм
|
0.2
|
0.1
|
-
|
|
Точность двунаправленного повторного позиционирования, мкм
|
± 1
|
± 1
|
-
|
|
Точность однонаправленного повторного позиционирования, мкм
|
0.2
|
0.2
|
-
|
|
Номинальный ток, А
|
1.2
|
3.8
|
4.4
|
|
Диапазон напряжений, В
|
|
24
|
|
|
Точность
|
По запросу
|
|
Диапазон изменения скорости, мм/с
|
0.001 ... 240
|
|
Материал
|
Чернёный анодированный алюминий
|
* С угловым энкодером
** В режиме полного шага
|
Нагрузочные характеристики
|
FX, Н
|
FY, Н
|
FZ, Н
|
MX, Н·м
|
MY, Н·м
|
MZ, Н·м
|
kax
(мкрад/ Н·м)
|
kay
( мкрад/ Н·м )
|
|
DC-B-040
|
200
|
200
|
200
|
130
|
130
|
90
|
80
|
60
|
|
2Phase-048
|
80
|
80
|
200
|
130
|
130
|
90
|
80
|
60
|
|
LM-010
|
87
|
87
|
200
|
130
|
130
|
90
|
80
|
60
|
Таблица, указанная ниже, относится к чертежу
|
Диапазон перемещения, мм
|
102
|
|
A
|
380
|
|
B
|
80
|
|
C
|
150
|
|
D
|
158,2
|
|
E
|
482
|
|
F
|
48
|
