тел: (495) 600-40-84
MCS

MCS

Двухкоординатная платформа с апертурой серии MCS разработана специально для полупроводниковой промышленности и задач микроскопии.

Диапазон перемещения платформы в стандартном исполнении 102х102 мм, опционально диапазон может быть расширен до 205х205 мм или 305х305 мм. Платформа оборудована направляющими с ШВП, оптическими датчиками для ограничения хода.

Возможны варианты конструкции платформы с DC, шаговым или линейным двигателем.

Для достижения более высокой повторяемости позиционирования платформа может быть оснащена энкодером.

В зависимости от приложения, типа двигателя и нагрузки платформа может развивать скорость в диапазоне от 0.001 до 240 мм/сек. 

Диапазон перемещения, мм

102х102 (опционально 205х205 или 305х305)

Вес, кг

22

Тип двигателя (шаг винта 2 мм)

DC-B-040

2Phase-048

LM-010

Максимальная скорость (мм/сек.)

90

35

240

Разрешение (расчетное), мкм

0.1*

10**

Разрешение (стандартное) без энкодера, мкм

0.2

0.1

-

Точность двунаправленного повторного позиционирования, мкм

± 1

± 1

-

Точность однонаправленного повторного позиционирования, мкм

0.2

0.2

-

Номинальный ток, А

1.2

3.8

4.4

Диапазон напряжений, В

24

Точность

По запросу

Диапазон изменения скорости, мм/с

0.001 ... 240

Материал

Чернёный анодированный алюминий

* С угловым энкодером

** В режиме полного шага

axes.JPG

Нагрузочные характеристики

FX, Н

FY, Н

FZ, Н

MX, Н·м

MY, Н·м

MZ, Н·м

kax
(мкрад/ Н·м)

kay
( мкрад/ Н·м )

DC-B-040

200

200

200

130

130

90

80

60

2Phase-048

80

80

200

130

130

90

80

60

LM-010

87

87

200

130

130

90

80

60









Таблица, указанная ниже, относится к чертежу

Диапазон перемещения, мм

102

A

380

B

80

C

150

D

158,2

E

482

F

48